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공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20152
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57158
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68677
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92193
487 charge effect에 대해 [2] 1463
486 연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생 [1] 1477
485 PECVD 증착에서 etching 관계 [1] 1489
484 glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다. [2] 1501
483 plasma 형성 관계 [1] 1502
482 Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [1] 1502
481 IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [2] 1507
480 데포 중 RF VDC DROP 현상 [1] 1533
479 O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [1] 1559
478 ICP reflecot power 관련 질문드립니다. [1] 1594
477 전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다. [1] file 1596
476 standing wave effect에 대한 질문이 있습니다. [1] 1602
475 CCP에서 전자밀도증가 -> 임피던스 감소 과정 질문있습니다. [3] 1604
474 EEDF, IEDF, Cross section관련 질문 [1] 1640
473 Pecvd 장비 공정 질문 [1] 1657
472 Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여 [1] 1660
471 안녕하세요 교수님. ICP관련하여 문의드립니다. [1] 1666
470 RF 전압과 압력의 영향? [1] 1670
469 다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련 [1] 1682
468 CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다. [3] 1686
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