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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68016
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397 plasma etching을 관련 문의드립니다. [1] 2360
396 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] 2361
395 안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다. [2] 2362
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392 안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출) [1] file 2460
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390 수소 플라즈마 관련해서 질문이 있습니다. [3] 2507
389 산소양이온의 금속 전극 충돌 현상 [1] 2553
388 PE 모드와 RIE 모드에서 쉬스 구역에 대한 질문 [1] 2574
387 플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다. [1] 2614
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383 Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다. [2] 2680
382 Gas flow rate에 따른 etch rate의 변화가 궁금합니다. [1] 2713
381 VI sensor를 활용한 진단 방법 [2] 2728
380 Plasma etcher particle 원인 [1] 2746
379 HF+LF 사용 중. HF Power 증가 시 Deposition Rate 감소 현상 문의 [1] 2754
378 CVD 공정에서의 self bias [1] 2754
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