온도의 차이 말고도 다른 차이가 있나요?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [311] 79181
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 21238
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 58051
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69602
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 94377
462 Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성 [플라즈마 생성 분포와 sheath 전기장] [1] 1943
461 wafer 두께가 증가함에 따라 Er이 급격하게 떨어지는 현상 [ER과 self bias] [1] 1947
460 ICP 내부 기체 비율에 따른 spectrum intensity 변화 [Excitation transfer 반응과 방사천이율] [1] 1947
459 N2 Blowing Ionizer 사용 시 궁금점 질문 드립니다. [N2 Ionizer 이온 및 중성 입자 해석] [1] 1965
458 유도결합 플라즈마 소스 질문!!!? [전기장 내 입자 거동] [2] 1965
457 3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [Wave guide 및 matcher position 변화] [1] 1994
456 RF FREUNCY와 D/R 과의 상관 관계에 관한 질문입니다. [CCP와 ionization] [1] 2011
455 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [Resonator의 matching] [1] 2015
454 RF PLASMA를 사용한 J.R ESC DECHUCK에 대하여 문의드립니다. [Ionization과 chucking] [1] 2015
453 쉬스(sheath)에서 전자와 이온의 감소 관련하여 질문 [Floating sheath] [1] 2050
452 플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!? [Breakdown voltage 및 이온화 에너지] [1] 2062
451 잔류가스분석기(RGA)에 관하여 질문드립니다. [군산대학교 주정훈 교수님] [1] 2073
450 chamber impedance [장비 임피던스 데이터] [1] 2080
449 RF generator 관련 문의드립니다 [Matcher와 line damage] [3] 2087
448 매칭시 Shunt와 Series 값 [RF 전원 전력 전달 및 Load/Tune 계산] [1] 2099
447 ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다. [Ion energy와 heat, sheath energy] [2] 2118
446 Remote Plasma가 가능한 이온 [Remote plasma와 diffusion] [1] 2123
445 안녕하세요 ICP dry etching 관련 질문사항드립니다! [N2 플라즈마] [1] 2127
444 플라즈마 에칭과 표면처리의 차이점 질문드립니다. [Cleaning, sputter etching, RIE] [1] 2128
443 플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서) [Lorentz force와 magnetic confinement] [1] 2137

Boards


XE Login