안녕하세요. 제가 최근에 플라즈마 코팅관련 회사에 입사하여 현재 플라즈마 공부중 입니다.

현재 VPS장비로 테스트 중인데 0~1 torr 보다 30~50 torr 일 떄 플라즈마제트의 모습이 훨씬 안정적인 이유를 어떻게 설명할 수 있을까요?

0~1 torr 일 때는 플라즈마의 형상이 지나치게 두껍고 불안정적인 모습입니다. 반면 챔버 내부의 압력을 증가시켰을 때는 훨씬 안정적이고

얇은 플라즈마의 형태를 띄고 있습니다. 이를 residence time과 관련해서 이해를 해야할까요?

아직 많은 논문들을 찾진 못했지만 대부분의 논문에서도 30~300 torr로 실험한 조건들이 많아 보였습니다.

또 다른 한가지 질문은 VPS 공정에서 분위기가스 즉 챔버내를 아르곤같은 불활성기체로 채워주는 이유는 단순하게 산화나 질화등을 막기

위함인가요? 분위기가스의 역할을 어떻게 정의하면 될까요?

기초적인 질문 죄송합니다. 답변 주시면 감사하겠습니다!

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [143] 5816
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 17283
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 53105
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64496
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 85109
678 안녕하세요 DBD 플라즈마 소독 관련질문입니다. [1] 247
677 Sticking coefficient 관련 질문입니다. [1] 249
676 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 [1] 259
675 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] 260
674 Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. 273
673 플라즈마 진단 OES 관련 질문 [1] 273
672 타겟 임피던스 값과 균일도 문제 [1] 298
671 Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정 304
670 H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련 [1] 309
669 Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [1] 311
668 염소발생 전기분해 시 스파크 발생에 관해 질문드립니다. [1] file 315
667 OLED에서 SF6와 CF4를 사용하는 이유를 알고 싶습니다. [1] 322
666 KM 모델의 해석에 관한 질문 [1] 324
665 입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate file 327
» VPS 공정에서 압력변수관련 질문입니다. [1] 329
663 전자밀도 크기에 대하여 질문드립니다. (Ar, O2, N2 가스) [1] 331
662 반도체 관련 플라즈마 실험 [1] 335
661 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] 345
660 크룩수의 음극선도 플라즈마의 현상인가요? [1] 351
659 플라즈마 진단 공부중 질문 [1] 354

Boards


XE Login