안녕하세요. 저는 유니스트에 재학중인 대학원생입니다.


이전에도 ICP CVD에 대해서 질문을 올렸었는데 그때 답변을 보고 문제점이 무엇인지 알수 있었습니다. 너무나 감사합니다.


그래서 이번에도 질문이 생겨 다시한번 찾아오게 되었습니다.


이번에 궁금한 점은 ICP CVD의 sample stage나 substrate에 magnetic property가 존재할 경우 plasma의 거동이 변하는지 변한다면 어떤식으로 변하게 될지 궁금하여 질문을 드립니다.


제가 찾아본 자료들을 보면 sample stage에 bias를 걸어서 deposition rate을 조절할수 있다는 자료들을 찾아 봤었습니다.


 그러다 문득 생각난게 magnetic field도 유사한 결과를 보여줄것 같은데 이렇게 생각해도 되는지 궁금합니다.


혹시 관련된 서적이나 논문 자료등 추천해주실 만한 자료가 있으시면 염치 불구하고 부탁드리겠습니다.


감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [129] 5609
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16899
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51349
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64213
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 84231
671 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [1] 220
670 안녕하세요 DBD 플라즈마 소독 관련질문입니다. [1] 237
669 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 [1] 237
668 Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다. [1] 257
667 반도체 관련 플라즈마 실험 [1] 285
666 타겟 임피던스 값과 균일도 문제 [1] 289
665 Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정 295
664 H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련 [1] 295
663 염소발생 전기분해 시 스파크 발생에 관해 질문드립니다. [1] file 303
662 Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [1] 303
661 플라즈마 진단 공부중 질문 [1] 306
660 Plasma Arching [1] 309
659 KM 모델의 해석에 관한 질문 [1] 315
658 VPS 공정에서 압력변수관련 질문입니다. [1] 317
657 입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate file 323
656 doping type에 따른 ER 차이 [1] 324
655 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] 329
654 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] 329
653 Co-relation between RF Forward power and Vpp [2] 330
652 크룩수의 음극선도 플라즈마의 현상인가요? [1] 346

Boards


XE Login