ESC ESC Chuck Pit 현상관련 문의 드립니다.

2014.06.03 09:05

주민호 조회 수:16945

안녕하세요. 

식각공정 설비 Eng'r로 근무하고 있는데요. 

최근 Metal 식각을 하는 설비의 ESC Chuck에 이전에는 보지 못한 현상이 있어 이렇게 문의 드립니다.

첨부한 그림에서 처럼 ESC Chuck Center 부위에 Pit 현상이 발생하고 있습니다.

BIPOLAR ESC구요.  Chucking 전압은 700v이고 Dechuck전압은 -700v 입니다.

이런 현상이 발생하는 요인으로 어떤 것들이 있는지.....

바쁘시겠지만 답변 부탁드립니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] 76713
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20170
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57164
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68694
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92269
328 RF calibration에 대해 질문드립니다. 5806
327 SiO2를 Etching 할 시 NF3 단독 보다 O2를 1:1로 섞을시 Etching이 잘되는 이유 [1] file 5836
326 안녕하세요. ICP 플라즈마의 임피던스를 측정하는 방법에 대해서 문의를 드립니다. [3] 5899
325 OES를 활용한 excitation temperature 분석 질문입니다. [1] 5926
324 코로나방전, 이온풍 관련 문의 드립니다. [1] file 5991
323 모노실란(SiH4) 분해 메카니즘 문의 6068
322 O2, N2, Ar 플라즈마에 대한 질문입니다. [2] 6175
321 자료 요청드립니다. [1] 6205
320 RPS를 이용한 NF3와 CF4 Etch Rate 차이 [4] 6244
319 Matcher의 Load, Tune 영향을 미치는 요소가 궁금합니다. [2] 6269
318 공동형 플라즈마에서 구리 전극의 식각 문제 [2] 6364
317 O2 플라즈마 표면처리 관련 질문2154 [1] 6404
316 액체 안에서의 Dielectric Barrier Discharge에 관하여 질문드립니다! [1] 6409
315 플라즈마 기술관련 문의 드립니다 [1] 6418
314 O2 plasma, H2 plasma 처리 관련 질문이 있습니다. [1] 6434
313 저온플라즈마에 대하여 ..질문드립니다 ㅠ [1] 6464
312 플라즈마 건식식각 장비 부품 정전척 공정 진행 후 외각 He-hole 부위 burning 현상 매카니즘 문의.. [1] 6469
311 플라즈마 데미지에 관하여.. [1] 6492
310 플라스마 상태에서도 보일-샤를 법칙이 적용 되나요? [1] 6540
309 안녕하세요. O2 plasma etching에 대해 궁금한 것이 있습니다. [1] 6564
쓰기
태그

Boards

XE Login