Plasma in general 플라즈마 장비를 사용한 실험이 가능할까요 ?
2018.05.03 11:20
대학교 종합설계 프로젝트 과제를 위해 NF3/NH3 플라즈마 가스를 이용한 dry cleaning 실험을 진행해야하는데,
관련해서 플라즈마응용연구실에서 외부 학생들이 직접 실험 or 실험 참관이 가능한지 여쭤보고 싶어서 문의 남깁니다.
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [235] | 75776 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 19464 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 56675 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68045 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 90346 |
| 278 | 수중 방전 관련 질문입니다. [1] | 9612 |
| 277 | ICP 구성에서 PLASMA IGNITION시 문의 [1] | 9664 |
| 276 | 플라즈마에 하나도 모르는 완전초보입니다..도와주십시오ㅠㅠ [1] | 9707 |
| 275 | 저온 플라즈마 장비에 관련하여 자문을 구합니다. | 9824 |
| 274 | Arcing(아킹) 현상 및 local plasma 관련 문의 [1] | 10137 |
| 273 | 미국의 RF 관련 회사 문의드립니다. [1] | 10200 |
| 272 | Remote Plasma에서 Baffle 재질에 따른 Plasma 특성 차이 [1] | 10252 |
| 271 | 플라즈마 PIC 질문드립니다. [1] | 10338 |
| 270 | RGA에 대해서 | 10434 |
| 269 | N2, Ar Plasma Treatment 질문입니다. [1] | 10860 |
| 268 | DC bias (Self bias) [3] | 11020 |
| 267 | 플라즈마 살균 방식 [2] | 11339 |
| 266 | ICP와 CCP의 차이 [3] | 12222 |
| 265 | 플라즈마에 대해서 꼭알고 싶은거 있는데요.. | 12324 |
| 264 | [기초]CCP Type에서의 Self-Bias(-Vdc) + Vp (plasma potential) 관련 질문입니다. [1] | 12617 |
| 263 | 반응기의 면적에 대한 질문 | 12783 |
| 262 | 플라즈마가 생기는 메커니즘에 대한 질문입니다. [1] | 12980 |
| 261 | 플라즈마 분배에 관하여 정보를 얻고 싶습니다. | 13161 |
| 260 | 플라즈마의 상태 | 14032 |
| » | 플라즈마 장비를 사용한 실험이 가능할까요 ? [1] | 14113 |
우리 연구실 장비에서는 해당 가스 실험은 어렵습니다. 아쉽지만 반도체 공동 연구소 등 화공과 시설을 사용하여야 할 것 같군요.