안녕하세요, KAIST 핵융합 및 플라즈마 연구실 소속 석사과정 권대호입니다.

다름이 아니라, 저희 연구실에서 사용하는 CCP 장비에서 접지 관련으로 보이는 문제가 발견되어 질문 드립니다.


첨부한 사진과 같이 구성되어 있는 CCP 챔버에서, 상부전극에는 13.56MHz RF Power 를 인가하고, 하부전극은 수도관에 접지해두었습니다. 또한, 챔버역시 동일한 수도관에 연결하여 접지하여 연결하였습니다. (접지 연결은 동축케이블을 사용하였습니다.)


이후 RF Power 를 인가한 뒤 하부 전극의 전압을 오실로스코프로 측정할 때, 해당 전극을 접지하였음에도 불구하고 13.56MHz 신호가 관측이 되었습니다. 수도관 자체 및 챔버에서 또한 13.56MHz 신호가 관측되었습니다. 

처음에는 RF Power 가 제대로 차페되지 않아 생기는 문제로 추측하여 RF Power 또한 수도관에 접지하였으나 동일한 현상이 발생하였습니다. 또한, RF Power를 챔버에 연결하지 않았을 때는 RF Power 를 인가하는 경우에도 수도관 접지에서 신호가 발생하지 않았습니다.


RF Power 인가 후 관측된 13.56MHz 신호의 평균값은 항상 0V로 관측되었습니다. 또한 RF Power 의 크기를 늘릴 때마다 신호의 Vpp 값이 증가하는 것을 관측하였습니다. (RF Power 자체의 Vpp값은 측정장비가 없어 알 수 없는 상황입니다.)


위와 같은 관측을 했음에도 불구하고, CCP 장비 및 전기 장비에 대한 이해도 부족으로 적절하게 접지가 이뤄져 있는 지 조차 판단이 어렵습니다.

이에, 다음 두가지 사항을 질문드립니다.

1. 일반적으로 CCP를 접지하는 방법 혹은 PAL 에서 CCP를 접지하고 있는 방법

2. 위와 같은 구성에서 접지가 적절하게 이뤄져 있는지를 체크할 수 있는 방법


부디 조언 부탁드립니다. 감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76541
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20077
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57115
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68615
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91697
303 CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활 [1] 7629
302 플라즈마 쪽에 관심이 많은 고등학생입니다. [1] 7695
301 MFP에 대해서.. [1] 7817
300 플라즈마 균일도에 대해서 질문드립니다. [1] 8023
299 RF Power reflect 관련 문의 드립니다. [4] 8037
298 고온 플라즈마 관련 8090
297 플라즈마 발생 억제 문의 [1] 8114
296 상압 플라즈마에 관하여 문의 드립니다. [1] 8124
295 Ar Gas 량에 따른 Deposition Rate 변화 [1] 8559
294 핵융합에 대하여 8561
293 Microwave 장비 관련 질문 [1] 8561
292 Bipolar, J-R Type Electrostatic Chuck 에서의 Discharge 원리가 궁금합니다. 8567
291 Lecture를 들을 수 없나요? [1] 8575
290 N2 환경에서의 코로나 방전을 통한 이온생성에 대한 질문입니다. [1] file 8601
289 ICP와 CCP는 단순히 플라즈마를 생서하는 방법인가요? [1] 8660
288 수중플라즈마에 대해 [1] 8720
287 Sheath와 Darkspace에 대한 질문입니다. [1] 8904
286 RF & DC sputtering에 대해 질문드립니다. [1] 8957
285 안녕하세요 교수님. [1] 8994
284 진공챔버내에서 플라즈마 발생 문의 [1] 9196

Boards


XE Login