Ion/Electron Temperature 전자온도에 대하여 궁금한 사항이 있습니다.

2009.06.25 00:50

김민수 조회 수:18671 추천:314

안녕하세요

플라즈마를 공부하는 대학원생입니다.

질문내용은 플라즈마내 전자온도의 의미입니다. 높고낮다는건 에너지가 높고 낮음을 얘기 할수도 있다고 하는데요.
높으면 에너지가 상대적으로 커서 다른 particle에 에너지를 많이 줄수 잇다는 의미인가요? 이 맥락은 플라즈마내 heating이론과 연관되어 있는것 같은데 EEDF와도 연관이 있는데 도무지 연결을 어떻게 해서 이해를 해야하는지요

또한 ICP에선 공정압력증가시 전자온도가 감소하는 이유는 무엇인지요 ..그리고 파워증가시에도 점차 감소하는 경향은
어떻게 설명해야하는지요.. 파워증가시 밀도도 당연히 증가하는데 이러한 상태에서 전자온도가 1-2eV로 작은경우
etch공정시의 어떤장점(미세패턴의 식각)에 유리하다고 하는데 그이유는 무엇인지요..

답변 부탁드립니다..

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [262] 76503
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20044
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57103
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68585
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91540
282 에칭후 particle에서 발생하는 현상 9485
281 Ion Energy와 RF matchin관련 질문입니다. [1] 9504
280 대기압 플라즈마에 대해서 9619
279 수중 방전 관련 질문입니다. [1] 9651
278 ICP 구성에서 PLASMA IGNITION시 문의 [1] 9796
277 저온 플라즈마 장비에 관련하여 자문을 구합니다. 9839
276 플라즈마에 하나도 모르는 완전초보입니다..도와주십시오ㅠㅠ [1] 9876
275 matcher에서 load,tune의 역할이 궁금합니다. [1] 10161
274 미국의 RF 관련 회사 문의드립니다. [1] 10275
273 Remote Plasma에서 Baffle 재질에 따른 Plasma 특성 차이 [1] 10329
272 플라즈마 PIC 질문드립니다. [1] 10363
271 RGA에 대해서 10526
270 Arcing(아킹) 현상 및 local plasma 관련 문의 [1] 11011
269 DC bias (Self bias) [3] 11195
268 N2, Ar Plasma Treatment 질문입니다. [1] 11255
267 플라즈마 살균 방식 [2] 11408
266 플라즈마에 대해서 꼭알고 싶은거 있는데요.. 12341
265 ICP와 CCP의 차이 [3] 12416
264 [기초]CCP Type에서의 Self-Bias(-Vdc) + Vp (plasma potential) 관련 질문입니다. [1] 12718
263 반응기의 면적에 대한 질문 12807

Boards


XE Login