Others Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다.
2020.06.08 18:29
안녕하십니까 교수님
공정 실습 중 Dechucking 이슈에 대해 궁금증이 있어 이렇게 글을 남깁니다.
제가 확인한 이슈는 dechucking 이후 핀업 진행 시 웨이퍼가 슬라이딩 하는 문제였는데, 해당 이슈에 대해 config값을 (0->5)변경하여 He flow가 되도록 조치했다는 것을 알았습니다.
chucking 과정중 He의 역할이 온도를 낮추는 역할 정도로 알고 있는데, He 가스가 chucking에서 어떤 역할들을 하는지 궁금합니다.
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] | 76538 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20076 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57115 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68613 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 91694 |
264 | [기초]CCP Type에서의 Self-Bias(-Vdc) + Vp (plasma potential) 관련 질문입니다. [1] | 12733 |
263 | 반응기의 면적에 대한 질문 | 12809 |
262 | 플라즈마가 생기는 메커니즘에 대한 질문입니다. [1] | 13042 |
261 | 플라즈마 분배에 관하여 정보를 얻고 싶습니다. | 13198 |
260 | 플라즈마의 상태 | 14067 |
259 | 플라즈마 장비를 사용한 실험이 가능할까요 ? [1] | 14135 |
258 | remote plasma 데미지 질문 [1] | 14426 |
257 | 냉각수에 의한 Power Leak | 14444 |
256 | 우주에서의 플라즈마의 성분비 | 14585 |
255 | ESC Dechuck과 관련하여 궁금한점이 있어 문의를 드립니다. [1] | 14683 |
254 | 플라즈마 절단기에서 발생 플라즈마 | 14730 |
253 | laser induced plasma의 측정에 관하여 | 14731 |
252 | 우주 플라즈마 | 14785 |
251 | 산업용 플라즈마 내에서 particle의 형성 | 15052 |
250 | 산업용 플라즈마의 특성 | 15144 |
249 | 박막 형성 | 15296 |
248 | 우주 플라즈마 | 15342 |
247 | In-flight plasma process | 15501 |
246 | 핵융합반응/플라즈마 | 15507 |
245 | Plasma potential이.. 음수가 될수 있나요?.. | 15605 |
성균관 대학교 김태성교수님 연구실로 문의하시면 좋은 답변을 구하실 수 있을 것 같습니다. chucking/dechucking에서 생성될 수 있는 파티클 제어까지 고려해야 할 것 같습니다.