대학교 종합설계 프로젝트 과제를 위해 NF3/NH3 플라즈마 가스를 이용한 dry cleaning 실험을 진행해야하는데, 

관련해서 플라즈마응용연구실에서 외부 학생들이 직접 실험 or 실험 참관이 가능한지 여쭤보고 싶어서 문의 남깁니다. 

 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [311] 79039
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 21201
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 58015
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69566
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 94284
262 플라즈마 분배에 관하여 정보를 얻고 싶습니다. [플라즈마 영향 인자] 13237
261 플라즈마가 생기는 메커니즘에 대한 질문입니다. [플라즈마 형성 과정과 파센의 법칙] [1] 13482
260 플라즈마의 상태 14127
» 플라즈마 장비를 사용한 실험이 가능할까요 ? [반도체 공동 연구소] [1] 14201
258 냉각수에 의한 Power Leak [Density와 Power] 14475
257 remote plasma 데미지 질문 [DC glow discharge와 Breakdown] [1] 14599
256 우주에서의 플라즈마의 성분비 [Orora와 density] 14610
255 laser induced plasma의 측정에 관하여 [Ablation plasma와 resolution] 14751
254 플라즈마 절단기에서 발생 플라즈마 14765
253 우주 플라즈마 [Orora와 density] 14803
252 산업용 플라즈마 내에서 particle의 형성 15102
251 ESC Dechuck과 관련하여 궁금한점이 있어 문의를 드립니다. [1] 15134
250 산업용 플라즈마의 특성 [Thermal Plasma와 Cold Plasma] 15201
249 박막 형성 [ICP와 MOCVD] 15323
248 우주 플라즈마 [Plasma의 온도와 밀도] 15398
247 In-flight plasma process [Remote Plasma와 Plasma Torch] 15536
246 핵융합반응/플라즈마 15597
245 플라즈마와 비행기에 미쳤거든여…^ _ ^ ; [플라즈마 우주선 추진 엔진] 15672
244 PMMA(폴리메틸메타크릴레이트)의 표면개질에 관해 [1] 15701
243 Plasma potential이.. 음수가 될수 있나요?.. 15783

Boards


XE Login