Plasma in general RF tune position 과 Vrms의 관계가 궁금합니다
2018.12.30 00:05
안녕하세요. 반도체 회사에서 근무하고 있는 엔지니어 입니다.
최근 설비이슈로 rf tune position 상승의 문제가 있는데 load는 변동이 없는데 유독 tune position만 상승합니다. 이때 Vrms는 tune과 반비례로 하강하는 trend를 보이는데,
1. tune과 Vrms 의 상관관계가 어떻게 되나요?
2. 유독 tune이 상승하는 원인을 어디서부터 찾아야 할까요?
바쁘신 와중에 항상 도움을 주셔서 감사합니다.
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] | 76541 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20077 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57115 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68615 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 91697 |
232 | Arcing 과 Self-DC Bias Voltage 상관 관계 [1] | 526 |
231 | 전쉬스에 대한 간단한 질문 [1] | 543 |
230 | Plasma Reflect를 관리하는 방법이 있을까요? [1] | 550 |
229 | Frequnecy에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [1] | 556 |
228 | 간단한 질문 몇개드립니다. [1] | 567 |
227 | plasma 공정 중 색변화 [1] | 572 |
226 | 수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다 [2] | 581 |
225 | Co-relation between RF Forward power and Vpp [1] | 585 |
224 | 플라즈마를 알기 위해선 어떤 과목을 공부해야 할까요? [1] | 589 |
223 | 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] | 594 |
222 | RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] | 650 |
221 | 플라즈마 진단 공부중 질문 [1] | 670 |
220 | RF 주파수에 따른 차이점 [1] | 674 |
219 | 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [1] | 676 |
218 | 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] | 698 |
217 | 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [1] | 708 |
216 | Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [1] | 725 |
215 | 교수님 질문이 있습니다. [1] | 732 |
214 | Hollow Cathode glow Discharge 실험 관련해서 여쭤보고싶습니다. [1] | 735 |
213 | Self bias 내용 질문입니다. [1] | 746 |
도움이 되실지 모르겠는데, 본 게시판 (상단에 보시면 항목을 나누어 놓았는데, chamber component 에 들어가면 matcher 항목)에서 토의된 내용을 확인해 보시기 바랍니다. 설비 이슈가 있었다면 chamber impedance가 바뀌었을 확률이 클 것도 같습니다.