안녕하세요 교수님. 항상 친절한 답변 감사드립니다.

 

회사를 다니면서 공부를 하다보니 제가 부족한 부분이 많아 자꾸 찾아뵙게 되네요.

 

현재 염근영 교수님의 '플라즈마 식각기술' 이라는 책을 공부하고 있는데요.

 

읽다보니 간단한것 같은데 이유를 모르겠는게 있어서 문의 드립니다.

 

Pressure가 공정에 미치는 영향 중에 압력이 낮아지면 rf voltage가 높아진다고 나와있는데 그 이유가 궁금합니다.

 

그리고 이 전압이라함은 플라즈마와 전극 사이의 전압을 말하는건가요?

 

제가 전기쪽으로는 지식이 많이 부족해서 헷갈립니다 ㅜㅜ 

 

감사합니다!

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76539
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20076
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57115
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68613
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91695
232 Arcing 과 Self-DC Bias Voltage 상관 관계 [1] 525
231 전쉬스에 대한 간단한 질문 [1] 543
230 Plasma Reflect를 관리하는 방법이 있을까요? [1] 550
229 Frequnecy에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [1] 555
228 간단한 질문 몇개드립니다. [1] 567
227 plasma 공정 중 색변화 [1] 571
226 수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다 [2] file 581
225 Co-relation between RF Forward power and Vpp [1] 585
224 플라즈마를 알기 위해선 어떤 과목을 공부해야 할까요? [1] 587
223 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] 594
222 RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] 650
221 플라즈마 진단 공부중 질문 [1] 668
220 RF 주파수에 따른 차이점 [1] 669
219 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [1] 676
218 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] 698
217 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [1] 708
216 Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [1] 725
215 교수님 질문이 있습니다. [1] 732
214 Hollow Cathode glow Discharge 실험 관련해서 여쭤보고싶습니다. [1] file 734
213 Self bias 내용 질문입니다. [1] 745

Boards


XE Login