안녕하십니까.. 현재 반도체업계 종사중이며 Plasma 관련 일을 하고 있습니다. 

다름이 아니오라 궁금한 점이 있어 이렇게 글을 올립니다.

Plasma에 의한 Gas 분해 및 치환 시 하기와 같은 예로


Zr[N(CH3)(C2H5)]4 ---->Zr + N + C + H    (O2 Add)

-- Zr + O2 --->ZrO2

-- C + O2 -->CO2

-- N + N --> N2

-- 4H + O2 -->2H2O

반응하여 생성된다고 가정하였을 때


반도체 공정중에서 Plasma를 발생시켜 Source Gas 및 Add Gas를 반응시켰을 시

1. 생성되는 Powder 종류

2. 생성되는 Gas 종류

3. 항목 1~2에서 우선순위로 생성되는 Gas 및 Powder 종류


위 내용에 관련하여 조언 및 교육을 받고자 하오니 답변 부탁드리겠습니다.


이상입니다.

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