ICP 플라즈마가 불안정한대요..

2004.06.25 16:43

관리자 조회 수:24185 추천:286

질문 ::

planar ICP를 만들면서 (아직 완성 못 했슴) 조그만 helical coil ICP(유리관 주위로 코일 감음)를 만들어 플라즈마를 생성시켜 봤습니다. 그런데 플라즈마가 안정하지가 않고 세졌다 약해졌다 (reflected power가 거의 0%에서 대충 80~90% 가까이까지 왔다갔다 합니다.)를 반복합니다. 제가 체크해볼 수 있는 사항에는 어떤 것들이 있을까요?
그럼 다시 감사드리며.. 새해 복 많이 받으십시요.

답변 ::

압력과 전력을 낮추고 플라즈마를 좀 더 오랜시간을 켜 놓으세요.
플라즈마도 새로운 환경에 적응하려면 시간이 걸립니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [60] 1483
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 1838
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 49504
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 59711
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 75498
603 Plasma에 의한 분해 및 치환 반응(질문) [1] 290
602 안녕하세요. Plasma etch rate에 관하여 질문이 있습니다. [1] 291
601 산소 플라즈마에 대한 질문입니다... 299
600 안녕하세요 OLED 증착 시 궁금한점이있어 문의드립니다 [2] 299
599 엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다. [1] 302
598 PDP 방전갭에 따른 휘도에 관해 질문드려요 [1] 307
597 간단한 질문 몇개드립니다. [1] 312
596 glass에 air plasma 후 반응에 대해 질문이 있습니다. [1] 313
595 ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다!! [1] 315
594 (PAP)plasma absorption probe관련 질문 [1] 316
593 Interlock 화면.mag overtemp의 의미 316
592 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 어떤 이유들이 있을까요..? [2] 322
591 CCP plasma에서 gap과 Pressure간의 상관관계 [1] 323
590 CVD 막질의 성질에 대해 질문드립니다. [1] 324
589 전쉬스에 대한 간단한 질문 [1] 327
588 Hollow Cathode glow Discharge 실험 관련해서 여쭤보고싶습니다. [1] file 328
587 플라즈마 용어 질문드립니다 [1] 330
586 핵융합 질문 [1] 331
585 Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] 332
584 코로나 방전 처리 장비 문의드립니다. [1] 335

Boards


XE Login