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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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Reflrectance power가 너무 큽니다.
[1] | 24322 |
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스퍼터링에서 DC bias의 감소 원인이 궁금합니다..
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RF 플라즈마 챔버 내부에서 모션 구동
[1] | 24486 |
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PECVD 매칭시 Reflect Power 증가
[2] | 24522 |
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dechucking시 Discharge 불량으로 Glass 깨짐
[3] | 25066 |
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충돌단면적에 관하여
[2] | 25324 |
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스퍼터 DC 파워의 High 임피던스가 무슨 의미인가요?
| 25372 |
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공정챔버에서의 아킹 및 노이즈 문제...
[2] | 25822 |
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self bias (rf 전압 강하)
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이온과 라디칼의 농도
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플라즈마 온도
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플라즈마 챔버 의 임피던스 관련
[2] | 26584 |
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sheath와 debye shielding에 관하여
| 26785 |
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DBD란
| 26801 |
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플라즈마 상태와 RF MATCHING관계 문의 사항
| 26972 |
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탐침법
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Arcing
[1] | 27107 |
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플라즈마와 자기장의 관계
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esc란?
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RF에 대하여...
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