Others Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문
2021.01.19 13:29
안녕하세요, 저는 대학원에서 이제 막 스퍼터링 관련 연구를 시작하게 된 학생입니다.
작은 진공 챔버만 있고 아무것도 없는 상태에서 가장 기본적인 스퍼터링 시스템을 만들고자 하는데요, Fluoride (LaF3, YF3 등)를 스퍼터링을 할 때에 안전에 대한 조언을 부탁드리고자 글을 남깁니다. 스퍼터링 시스템을 동작시키는 여러 프로시져 등은 여러군데서 찾아볼 수 있지만, 그 이전에, 실험 환경의 안전 시스템은 어느정도로 구축해야될 지 가늠이 서질 않습니다.
예를 들어 Ar 가스를 사용하여 약 지름이 5cm인 YF3 원형 타겟을 스퍼터한다고 가정을 하면,
1. 타겟으로부터 F와 Yttrium 성분이 경우에 따라 어떤 형태로 떨어져나올 수 있는지, (일반적으로 Ar양이온이 충돌하여 YF3화합물의 형태로 그대로 떼어낼 것 같으나, 만약 어떠한 이유로 F가 별도로 분리되는? 그런경우도 있을 수 있을까요?)
2. 그 외 어떠한 이유로 F성분이 챔버 Leak이나 펌프 배기 등의 문제로 밖으로 샐 경우에 인체에 해를 심각하게 가할 정도가 될 수도 있는 지,
위 2가지와 관련해서 전문가의 조언을 좀 구할 수 있을까요? 아무래도 Fluorine성분이 있다보니 마음에 걸립니다.
관련 안전 담당부서와 논의를 할 것이긴 합니다만 전문성이 부족할 수도 있을 것을 대비해서 조언을 부탁드립니다. 참고로, 연구실에는 챔버 1개용으로 충분한 Fumehood와 일반적인 반도체회사에서 사용하는 호흡기와 필터정도는 있습니다.
감사합니다.
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] | 76726 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20181 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57167 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68697 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92276 |
129 | 형광등과 플라즈마 | 20247 |
128 | 안녕하세요. GS플라텍 지성훈입니다. [1] | 20259 |
127 | 상압 플라즈마 방전에 관한 문의 [1] | 20311 |
126 | CCP형, 진공챔버 내에서의 플라즈마... [1] | 20380 |
125 | Langmuir probe tip 재료 | 20408 |
124 | RIE장비 에서 WALL 과 TOP 온도 | 20421 |
123 | wafer 전하 소거: 경험 있습니다. | 20480 |
122 | 확산펌프 | 20516 |
121 | 플라즈마 진단법에 대하여 [1] | 20575 |
120 | Lissajous figure에 대하여.. | 20621 |
119 | Three body collision process | 20649 |
118 | 교재구입 | 20725 |
117 | 이온주입량에 대한 문의 | 20731 |
116 | IEDF EQP에 대한 답변 | 20806 |
115 | plasma cleanning에 관하여.... | 20833 |
114 | UBM 스퍼터링 장비로... [1] | 20905 |
113 | RF plasma에 대해서 질문드립니다. [2] | 20963 |
112 | 대기압플라즈마 진단 | 21025 |
111 | 플라즈마란? | 21056 |
110 | 전자파 누설에 관해서 질문드립니다. [1] | 21110 |
학교내 실험 안전 관리 규정 기준으로 가이드 받기를 권장합니다. 실험실 차원으로 다루는 것이 좋습니다.
스퍼터 셋업 및 구동 원리에 대해서는 군산대학교에 계시는 주정훈교수님께 문의드려 보면 좋겠군요. 추천합니다.