Etch Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동
2022.09.20 20:49
안녕하세요. PECVD 공정 엔지니어로서 RPSC의 Cleaning 거동을 이해하고자 질문드립니다.
우선 CCP 형태 Chamber에서 Chamber 내 NF3가 공급되어 SiNx가 식각되는 Cleaning 공정을 가정하겠습니다.
Chamber Throttle Valve Position이 고정되고 Pump는 100% 성능으로 작동할 때, NF3를 공급하면 Pressure 곡선은 아래와 같습니다.
Chamber 내에선 SiNx와 NF3가 반응하여 SiF4가 생성됩니다.
Throttle Valve, Pump 상태는 동일하므로 배기되는 Output Volume Flowrate는 항상 같다고 가정했습니다.
Chamber 내 압력이 변동하되 Chamber Volume은 일정하므로, Chamber 내 Density는 Pressure에 비례할 것입니다. 즉, Fluid Density는 상기 곡선 상황에서 변동하는 Parameter입니다.
이때, 궁금한 것은 Residence Time 추이가 어떻게 변할지 입니다.
Residence Time은 Chamnber 내 Fluid가 평균적으로 얼마나 오래 머무르고 가는지 의미합니다.
추론① 배기되는 Output Volume Flowrate, Chamber Volume이 일정하므로 Residence Time은 항상 동일하다.
추론② Input Volume Flowrate가 증가하더라도, 추론①대로 Residence Time은 항상 일정하다. → 이 경우, Input Volume Flowrate가 증가했음에도 Residence Time이 동일한 건 직관적으로 이상하지만, Density(혹은 Pressure)가 증가하므로 적절한 추론일 것이다.
추론③ Chamber 내 Fluid Density와 Throttle Valve를 통해 배기되는 Fluid Density는 동일하다.
상시 세 가지 추론이 적절한지 궁금합니다. 물론 정밀한 수준으로 정확한지를 따지기보단, 큰 개념으로 공정을 바라볼 때 위의 추론처럼 이해하는 것이 적절한지가 궁금합니다.
항상 질문에 친절하게 답해주셔서 감사합니다.
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] | 76726 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20178 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57166 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68697 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92275 |
129 | 형광등과 플라즈마 | 20247 |
128 | 안녕하세요. GS플라텍 지성훈입니다. [1] | 20259 |
127 | 상압 플라즈마 방전에 관한 문의 [1] | 20311 |
126 | CCP형, 진공챔버 내에서의 플라즈마... [1] | 20380 |
125 | Langmuir probe tip 재료 | 20408 |
124 | RIE장비 에서 WALL 과 TOP 온도 | 20421 |
123 | wafer 전하 소거: 경험 있습니다. | 20480 |
122 | 확산펌프 | 20516 |
121 | 플라즈마 진단법에 대하여 [1] | 20575 |
120 | Lissajous figure에 대하여.. | 20621 |
119 | Three body collision process | 20649 |
118 | 교재구입 | 20725 |
117 | 이온주입량에 대한 문의 | 20731 |
116 | IEDF EQP에 대한 답변 | 20805 |
115 | plasma cleanning에 관하여.... | 20833 |
114 | UBM 스퍼터링 장비로... [1] | 20904 |
113 | RF plasma에 대해서 질문드립니다. [2] | 20963 |
112 | 대기압플라즈마 진단 | 21025 |
111 | 플라즈마란? | 21056 |
110 | 전자파 누설에 관해서 질문드립니다. [1] | 21110 |
TVP (throttle valve Position) 변화도 관찰해 보세요. 일반 진공 이론에서 conductance 개념도 고려해 보시면 residence time , 체류 시간에 대한 개념적 접근이 가능할 것 같습니다.