Others VPP, VDC 어떤 FACTOR 인지 알고 싶습니다.
2012.09.07 03:25
안녕하세요. 반도체에 종사하는 엔지니어입니다.
플라즈마에 대한 기초지식이 없어 설비 Trace 하는데 어려움이 있어 도움 요청합니다.
질문
1.VPP가 어떤건지?
2.VDC가 어떤건지?
3.VPP 정상 Trend에서 High Hunting 발생한 경우 왜 그런지?
4.VPP 정상 Trend에서 Low Hunting 발생한 경우 왜 그런지?
5.VDC 정상 Trend에서 High Hunting 발생한 경우 왜 그런지?
6.VDC 정상 Trend에서 Low Hunting 발생한 경우 왜 그런지?
7.플라즈마는 압력,TEMP에 대해서 어떻게 변하는지?
위 7개 항목에 대해서 알고 싶습니다.
참고. 반도체 Batch 장비 , ALD막 생성에 쓰이는 장비입니다.
정말 감사합니다.
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] | 76539 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20076 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57115 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68613 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 91695 |
103 | CCP 에서 Area effect(면적) ? | 21361 |
102 | 47th American Vacuum Society International Symposium 2000 | 21423 |
101 | ccp-icp | 21424 |
100 | F/S (Faraday Shield) | 21469 |
99 | 상압 플라즈마 관련 문의입니다. [1] | 21510 |
98 | 대기압플라즈마를 이용한 세정장치 | 21536 |
97 | 스퍼터링시 시편두께와 박막두께 [1] | 21544 |
96 | manetically enhanced plasmas | 21650 |
95 | glass 기판 ICP 에서 Vdc 전압 | 21723 |
94 | 플라즈마내의 전자 속도 [1] | 21870 |
93 | 펄스바이어스 스퍼터링 답변 | 21929 |
92 | remote plasma에 대해 설명좀 부탁드립니다. [1] | 21979 |
91 | 플라즈마 온도 질문 + 충돌 단면적 | 21992 |
90 | 질문있습니다 교수님 [1] | 22002 |
89 | 플라즈마 코팅에 관하여 | 22086 |
88 | 플라즈마의 발생과 ICP | 22112 |
87 | Dry Etcher 내 reflect 현상 [2] | 22229 |
86 | Dry Etcher 에 대한 교재 [1] | 22534 |
85 | MATCHING NETWORK 에서 BACKWARD BIAS 가 생성되는 이유가 무엇 입니까? [3] | 22571 |
84 | Peak RF Voltage의 의미 | 22576 |