Langmuir Probe 플라즈마 측정기 [How Langmuir Probe Works]

2009.08.06 11:38

허용강 조회 수:21420 추천:156

안녕하세요.
플라즈마 자료 검색을 하다가 찾게되었고, 자세한 답변을 기대하며, 질문을 드리게 됩니다.
플라즈마에 대해서 공부를 하고 있는데요. 주어지는 전압, 전류에 따라서 플라즈마가 변하는 것을
어떤 분석장비로 분석을 할수 있는지 알아보려합니다.

분석 장비 이름이라도 알면은 검색이라도 해서 찾아볼텐데, 어떠한 장비가 있는지도 잘 모르겠습니다.
장비 이름과 간단한 분석 원리 및 분석 가능 파라미터등을 알고 싶은데,
정말 간단히 분석 장비 이름이라도 꼭 답변을 달아주셨으면 합니다.
현재 아는것은 랭뮤어 뿐이 모릅니다.. 꼭 부탁드립니다. 감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [316] 82246
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 21896
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 58682
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 70305
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 96075
124 wafer 전하 소거: 경험 있습니다. 20535
123 확산펌프 [DP 변수 검토] 20586
122 Three body collision process 20693
121 Lissajous figure에 대하여.. 20700
120 플라즈마 진단법에 대하여 [플라즈마 진단과 Spectroscopy] [1] 20729
119 교재구입 20769
118 이온주입량에 대한 문의 20801
117 IEDF EQP에 대한 답변 file 20848
116 plasma cleanning에 관하여 [Sputtering과 Etch] 20907
115 UBM 스퍼터링 장비로… [UBM과 열팽창 및 coating] [1] 21008
114 대기압 플라즈마 진단 [탐침을 통한 대기압 진단의 문제점] 21058
113 RF plasma에 대해서 질문드립니다. [Sheath model, Ion current density] [2] 21108
112 플라즈마란? [제 4의 물질 상태] 21115
111 전자파 누설에 관해서 질문드립니다. [Coaxial cable과 wave shield] [1] file 21229
110 ICP 플라즈마 매칭 문의 [Matching과 breakdown] [2] 21332
109 Xe 기체를 사용한 플라즈마 응용 21367
108 플라즈마 실험 21388
» 플라즈마 측정기 [How Langmuir Probe Works] [1] 21420
106 저온 플라즈마에서 이온, 전자, 중성자 온도의 비평형이 생기는 이유에 대해서 [Equilibrium과 collision] [1] 21426
105 47th American Vacuum Society International Symposium 2000 file 21452

Boards


XE Login