Others 활성이온 측정 방법

2017.11.07 15:04

.. 조회 수:572

안녕하세요

배가스 제거 기술 개발을 하고 있는 직장인 이성수라고 합니다.

플라즈마 관련 문의 사항이 있어서 연락을 드립니다.

오존을 이용하여 gas를 분해하는 기술에 대해서 알아보고 있는데요

오존이 아닌 플라즈마 이온이 gas를 분해하는데 더  강한 산화제로 작용울 할수 있는것 같습니다.

그래서 오존발생기(플라즈마방식)에서 오존 외에 활성이온량을 측정할수 있는 방법을 찾고 있습니다.

활성이온량을 측정할수 있는 방법이 있는지요?

그리고 플라즈마 밀도를 측정하기 위해서 EOS 를 사용하는 것으로 알고 있는데요

플라즈마 밀도와 활성이온량의 의미는 같은것인지요?

현재 활성이온 측정 방법을 알수 없어서 개선방법을 못찾고 있습니다.

교수님의 고견 부탁 드립니다.

감사합니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] 76650
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20148
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57148
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68669
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92126
727 CURRENT PATH로 인한 아킹 [1] file 387
726 염소발생 전기분해 시 스파크 발생에 관해 질문드립니다. [1] file 390
725 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 2 392
724 PEALD 장비에 관해서 문의드리고 싶습니다. [1] 394
723 타겟 임피던스 값과 균일도 문제 [1] 399
722 CCP 설비 Capacitance 및 Impedance 변화에 따른 Vpp 변동성 문의 [2] 403
721 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] 407
720 PDP 방전갭에 따른 휘도에 관해 질문드려요 [1] 423
719 안녕하세요 CLEAN GAS 관련 질문이 있습니다. [1] 424
718 VPS 공정에서 압력변수관련 질문입니다. [1] 426
717 ISD OES파형 관련하여 질문드립니다. [1] 431
716 크룩수의 음극선도 플라즈마의 현상인가요? [1] 432
715 H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련 [1] 432
714 Sheath와 Plasma Bulk에 걸리는 전압 관련 문의 [1] 440
713 KM 모델의 해석에 관한 질문 [1] 442
712 스퍼터링 Dep. 두께 감소 관련 문의사항 [1] 443
711 glass에 air plasma 후 반응에 대해 질문이 있습니다. [1] 445
710 안녕하세요 DBD 플라즈마 소독 관련질문입니다. [1] 450
709 Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [1] 452
708 AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 463
쓰기
태그

Boards

XE Login