Matcher RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다.
2022.04.19 11:40
안녕하세요
측정장비 분야에서 일하고 있는 연구 엔지니어입니다.
ICP(13.56MHz) 이용해 플라즈마 띄우고 Standard L-type Matching Network 사용중입니다.
Matcher에 대해 어느정도 이론은 이해했다고 생각했는데 현실은 다르네요.
안테나와 Matcher 間 거리, 안테나의 길이, Clamp로 엮는 위치 등등 모든게 변수가 되는 것 같습니다...
이러한 이유로 Plasma를 띄운 후 Current 값이 계속해서 안정적이지 못하고 뛰는 것 같은데 혹시 이러한 값들도 영향을 미치나요?
혹시 최선의 값을 알고 계신다면 알려주시면 진심으로 감사하겠습니다.
바쁘신 연구 와중에도 항상 저희에게 도움을 주셔서 감사합니다.
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [160] | 73081 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 17644 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 55521 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 65739 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 86108 |
| 647 | 전쉬스에 대한 간단한 질문 [1] | 454 |
| 646 | 반도체 관련 플라즈마 실험 [1] | 455 |
| 645 |
해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안
[1]  | 456 |
| 644 | Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다. [1] | 457 |
| 643 | Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] | 465 |
| 642 | 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [1] | 471 |
| 641 | 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] | 473 |
| 640 | Interlock 화면.mag overtemp의 의미 | 473 |
| 639 | Frequnecy에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [1] | 475 |
| 638 | O2 플라즈마 사용에 대한 질문을 드립니다. | 484 |
| 637 | 활성이온 측정 방법 [1] | 485 |
| 636 |
수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다
[2] | 485 |
| 635 | 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] | 490 |
| 634 | Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] | 498 |
| 633 | analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] | 499 |
| 632 | CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] | 500 |
| 631 | 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [1] | 504 |
| 630 | RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] | 506 |
| 629 | RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] | 512 |
| 628 | ICP 대기압 플라즈마 분석 [1] | 512 |
최선의 설계는 전기공학적인 설계 방법이 있을 것 같습니다만, 저는 경험이 없어 즉답을 드리기 힘듧니다. 다만 제 실험에서는 물리적으로 잘 결합이 되고, 접지에 각별하게 신경을 써야 한다는 정도만 알고 있습니다. 특히 clamp로 묶는 일 들은 매우 신중하셔야 할 것 같고요. RF는 DC와 매우 다르게 다루어야 하는 점 꼭 신경쓰시기 바랍니다.