Etch Dry Etch장비에서 Vdc와 Etch rate관계

2009.02.09 21:43

김정남 조회 수:22747 추천:298

안녕하십니까.
저는 현재 반도체 제조회사 Dry Etch담당자를 맡고 있으며,불량현상에 대해 조언을 구하고자 이렇게 문의드립니다.

DPS방식의 Dry Etcher에서 Si Trench Isolation공정을 진행하고 있습니다.
최근의 불량현상은 10매 연속 공정진행시 5매째부터 Si Depth가 정상대비 80% 수준을 보여, 장비 Parameter확인시 5매째부터 정상대비 Parameter Shift현상이 확인되었습니다.
- 정상과 비교시 Gate Valve open증가(Chamber Pressure는 변화없음)
- 정상과 비교시 Vdc값 증가(-350 -> -450)
- 정상과 비교시 Source RF Matching  Position변동됨
Chamber Open시 특이점(원인)은 Ceramic Dome에 Polymer 떨어짐 및 들뜸상태(부풀어올라 Dome과 Gap발생)

궁금한것은, Polymer 들뜸으로 인해 Gate Valve open값,Vdc값, Matching Position등이 변화되어 결국 Etch rate Low로 Depth Low가 발생되었다는 결론이 나오는데...
1) Polymer 들뜸으로 인해 Chamber내 플라즈마에 어떤 변화가 생겼던건지..어떤 변화로 인해 Parameter값이 Shift되었는지..궁금합니다.
2) Test시 Vdc값이 -로 증가할수록 Etchrate가 감소했는데..Wafer상 전자량이 증가한다는 것이 Etchrate를 감소시킨다는
결과인데..왜 그런지 궁금합니다. (전자량이 많으면, 양전하도 많다는것 아닌지요? 아니면, 전자량 증가가 Sheath영역이 넓어짐을 의미하는것인지요?)
3) 공정진행중 Polymer 들뜸으로 인해 Chamber Volume감소 -> 일정Pressure control위해 Gate valve open증가됨, 그리고 Chamber Volume 감소로 인한 임피던스변화(Matching Position변동)...이러한 정리가 맞는것인지요??

자세한 설명 부탁드립니다.
감사드립니다.


번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76539
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20076
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57115
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68613
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91695
723 PEALD 장비에 관해서 문의드리고 싶습니다. [1] 391
722 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] 394
721 타겟 임피던스 값과 균일도 문제 [1] 399
720 안녕하세요 CLEAN GAS 관련 질문이 있습니다. [1] 405
719 ISD OES파형 관련하여 질문드립니다. [1] 420
718 Sheath와 Plasma Bulk에 걸리는 전압 관련 문의 [1] 420
717 PDP 방전갭에 따른 휘도에 관해 질문드려요 [1] 423
716 H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련 [1] 424
715 VPS 공정에서 압력변수관련 질문입니다. [1] 426
714 크룩수의 음극선도 플라즈마의 현상인가요? [1] 429
713 스퍼터링 Dep. 두께 감소 관련 문의사항 [1] 437
712 KM 모델의 해석에 관한 질문 [1] 438
711 remote plasma 를 이용한 SiO2 etching 질문드립니다. [1] 440
710 glass에 air plasma 후 반응에 대해 질문이 있습니다. [1] 441
709 Plasma 표면개질에 대해 질문드립니다. [1] 441
708 안녕하세요 DBD 플라즈마 소독 관련질문입니다. [1] 445
707 Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [1] 450
706 플라즈마 전원 공급장치에 대한 질문 [1] 453
705 AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 455
704 Remote plasma source의 주파수 400kHz 이유 [1] 459

Boards


XE Login