랑뮤어 프로브에 관한 논문을 읽다가 궁금하게 생겨 질문 드립니다. 

이온은 프리쉬스 영역에서 0.5(kTe/e)에 해당하는 전압강하를 통하여 bohm속도를 갖게되어 음극쪽으로 끌려가는 것으로 알고 있습니다.

논문에서는 음극에서 수집되는 전류밀도는 일정하므로 이온의 밀도는 감소하며 만약 이 이온의 밀도감소 속도가 전자의 밀도감소 속도보다 빠르게 될 경우 전자가 사라지기 전에 이온밀도가 감소하여 결국 순 전류가 음의 값을 가져 이온의 속도가 증가한다고 합니다. 따라서 이를 해결하려면 쉬스의 양의 공간 전하를 유지하기 위해 이온은 bohm속도에 해당하는 속도로 쉬스로 들어가야 한다고 나와있습니다. 

이 부분이 이해가 되질 않습니다.  프리 쉬스에 의해  bohm속도에 도달한 이온들은 쉬스영역으로 더 잘 끌려간다는 말 아닌가요? 이렇게 되면 이온밀도는 더 감소하게되는것 아닌지... 쉬스의 양의 공간전하 유지를 위해 이온밀도 감소 속도를 낮춰야 한다면서 한편으로는 쉬스영역으로 더 잘 끌려갈 수 있게 bohm 속도를 가져야 한다니... 뭔가 역설적인것 같습니다..

또 프리 쉬스가 생기는 이유에 대해서도 궁금합니다.

또 다른 한 논문에서는 "이온-중성종 간의 약한 충돌이 지배적으로 일어나는 전통적 의미의 프리쉬스 영역이 존재함을 의미" 라고 적혀있는것을 보았습니다.

이온-중성종간의 충돌이 프리쉬스의 형성과 어떤 관련이 있나요?? 아니면 그냥 프리쉬스영역에서 이온-중성종간의 충돌이 일어난다는 뜻인가요??

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [313] 79258
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 21270
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 58071
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69626
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 94421
764 플라즈마 식각 시 notching 현상 관련 [Ar, O2 플라즈마 생성 특성] [1] 314
763 CCP장비 discharge 전압 및 전류 측정 방법 과 matcher 문제 관하여 [HV probe 전압 측정] [2] file 317
762 skin depth에 대한 이해 [Stochastic heating 이해] [1] 317
761 Cu migration 방지를 위한 스터디 [전자재료] [1] 323
760 gas에 따른 deposition rate 및 저항질문 있습니다 [박막 문제] [1] 344
759 CF4/Ar 을 활용한 Si/SiO2 에칭에 관한 질문입니다. [식각 교재 참고] [1] file 353
758 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [Rise rate] [1] 360
757 RIE 설비 관련 질문 좀 드려도 될까요? [RF matcher noise] [1] 363
756 RF 스퍼터 관련 질문이 있습니다. [장비 분해 리빌트 및 테스트] [1] 369
755 Plasma 장비 소재 특성 관련하여 문의드립니다. [DC breakdown 및 sheath] [1] 370
754 Etch Plasma 관련 문의 건.. [RF 주파수와 플라즈마 주파수] [1] 371
753 E-field plasma simulation correlating with film growth profile [플라즈마 확산과 밀도 분포] [1] 378
752 Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정 380
751 RIE Gas 질문 하나 드려도 될까요? [Sheath instability] [1] 389
750 메틸기의 플라즈마 에칭반응 메커니즘 [공정 플라즈마] [1] 392
749 플라즈마 에너지가 온도를 높혀주는 역할 [전자 충돌 현상 및 입자 충돌 현상] [1] 398
748 RF sputter 증착 문제 질문드립니다. [OES 진단과 sputter yield] [1] file 399
747 입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate file 401
746 chamber에 인가되는 forward power 관련 문의 [송전선로 모델 및 전원의 특성] [1] 416
745 ICP에서의 Self bias 효과 [DC offset voltage와 floating potential] [1] 416

Boards


XE Login