안녕하세요.

 

Plasma 관련 공부를 처음 시작하게된 엔지니어입니다.

 

교수님의 설명을 통해 이곳에서 많은 공부를 하고 있는 도중 의문점이 있어 질문 드립니다.

 

Source Gas의 Uniformity를 관련하여 공부하고 있는데요

 

Plasma도 처음 시작하게 되었는데 기체의 유동도 많은 관련이 있어 공부를 시작하려 합니다.

 

진공 상태에서 Gas가 분출되어 나오고, showerhead를 통해 Process 공간으로 분사될 때 Gas의 Density를 대략적으로 계산할 수 있는 식이 있을까요??

 

예를들면 직경 10Φ의 원형에서 Gas가 분출되어 나오고 Showerhead와의 거리는 A, Showerhead 면적이 100mm x 50mm 일때 Showerhead를 통과하는 기체의 Density를 구할 수 있을까요??

 

정확하지 않더라도 간단하게 유추정도만 해볼 수 있는 식이 있다면 지도 부탁드립니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [88] 2564
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 13558
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 49691
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 61635
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 80260
600 전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련 [1] 381
599 Hollow Cathode glow Discharge 실험 관련해서 여쭤보고싶습니다. [1] file 385
598 analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] 388
597 plasma 형성 관계 [1] 388
596 활성이온 측정 방법 [1] 389
595 RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] 390
594 엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다. [1] 396
593 해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안 [1] file 397
592 플라즈마 용어 질문드립니다 [1] 397
591 RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] 401
590 Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [1] 408
589 Frequnecy에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [1] 412
588 Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [1] 416
587 Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [2] 420
586 수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다 [2] file 424
585 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 어떤 이유들이 있을까요..? [2] 431
584 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] 438
583 ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다!! [1] 438
582 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [1] 443
581 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] 444

Boards


XE Login