Plasma Source 챔버 시즈닝에 대한 플라즈마의 영향성
2023.03.07 09:48
기초적인 질문이지만 답변 해주시면 정말 감사하겠습니다.
1. 챔버 시즈닝을 SiO2로 했을때, 플라즈마를 인가하면 플라즈마의 영향으로 챔버시즈닝이 각 O2-와 Si4+로 분해가 일어날수있나요?
일어난다면 흔한일일까요 ??
2. 1번과 같은 관점에서 플라즈마 gas를 각각 N2 , H2 로 인가한다면, 제가 생각하기에는 수소원자가 질량이 낮으니 O를 떼어 낼 만한 힘이 없어서 N2 는 1과같은 일이 발생할수 있을거 같고, H2는 힘들것 같은데 어떤것이 맞는지 궁금합니다
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플라즈마의 생성 현상에 대해서 공부해 보시기 바랍니다. 먼저 전자와 원자 및 분자와의 충돌과정으로, 이온화 및 해리 충돌 과정에 대해서 공부하시면 좋을 것 같고, 이 반응이 연속되어 플라즈마가 발생하고 형성되어 유지되게 됩니다. 따라서 플라즈마 방전, 파센 법치, 충돌이온화반응 등의 주제로 검색해 보시기 바랍니다. 게시판에 보시면 잘 설명이 되어 있고, 위의 질문에 대한 답을 찾을 수 있으실 것 같습니다.