안녕하세요.

 

Plasma 관련 공부를 처음 시작하게된 엔지니어입니다.

 

교수님의 설명을 통해 이곳에서 많은 공부를 하고 있는 도중 의문점이 있어 질문 드립니다.

 

Source Gas의 Uniformity를 관련하여 공부하고 있는데요

 

Plasma도 처음 시작하게 되었는데 기체의 유동도 많은 관련이 있어 공부를 시작하려 합니다.

 

진공 상태에서 Gas가 분출되어 나오고, showerhead를 통해 Process 공간으로 분사될 때 Gas의 Density를 대략적으로 계산할 수 있는 식이 있을까요??

 

예를들면 직경 10Φ의 원형에서 Gas가 분출되어 나오고 Showerhead와의 거리는 A, Showerhead 면적이 100mm x 50mm 일때 Showerhead를 통과하는 기체의 Density를 구할 수 있을까요??

 

정확하지 않더라도 간단하게 유추정도만 해볼 수 있는 식이 있다면 지도 부탁드립니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76543
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20078
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57116
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68615
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91697
703 Remote plasma source의 주파수 400kHz 이유 [1] 462
702 코로나 방전 처리 장비 문의드립니다. [1] 463
701 Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다. 467
700 PECVD Uniformity [1] 468
699 magnetic substrate와 플라즈마 거동 [3] 469
698 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] 469
697 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 [1] 474
696 (PAP)plasma absorption probe관련 질문 [1] 477
695 산소 플라즈마에 대한 질문입니다... 480
694 수중방전에 대해 질문있습니다. [1] 492
693 안녕하세요. 자문을 구할 수 있을지 궁금합니다. [1] file 496
692 PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [2] 505
691 Plasma에 의한 분해 및 치환 반응(질문) [1] 508
690 self bias [1] 514
689 해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안 [1] file 515
688 Arcing 과 Self-DC Bias Voltage 상관 관계 [1] 526
687 전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련 [1] 536
686 Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동 [1] file 536
685 Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. 538
684 Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] 542

Boards


XE Login