Plasma in general Frequnecy에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요?
2018.12.26 15:02
PLASMA SPACING은 고정한채 Frequency만 조절하여 플라즈마 세로 영역을 확장할 수 있을까요?
Frequecny가 low일수록 이온의 움직일 수 있는 시간이 늘어 이온이 아래위로 더 움직일 수 있을거 같은데
이를 증명할 수 있는 방법이나, 이 사실에 대해 아시는 분 답변 부탁드립니다.
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] | 76715 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20170 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57164 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68696 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92273 |
708 | 코로나 방전 처리 장비 문의드립니다. [1] | 468 |
707 | Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다. | 469 |
706 | AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 | 470 |
705 | plasma striation 관련 문의 [1] | 470 |
704 | magnetic substrate와 플라즈마 거동 [3] | 472 |
703 | 플라즈마 전원 공급장치에 대한 질문 [1] | 477 |
702 | (PAP)plasma absorption probe관련 질문 [1] | 481 |
701 | 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] | 484 |
700 | 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 [1] | 484 |
699 | remote plasma 를 이용한 SiO2 etching 질문드립니다. [1] | 485 |
698 | 산소 플라즈마에 대한 질문입니다... | 487 |
697 | 수중방전에 대해 질문있습니다. [1] | 501 |
696 | PECVD Uniformity [1] | 502 |
695 | 안녕하세요. 자문을 구할 수 있을지 궁금합니다. [1] | 504 |
694 | Plasma 표면개질에 대해 질문드립니다. [1] | 509 |
693 | Plasma에 의한 분해 및 치환 반응(질문) [1] | 513 |
692 | 해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안 [1] | 516 |
691 | self bias [1] | 527 |
690 | 전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련 [1] | 541 |
689 | Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. | 543 |
게시판의 plasma in general 항목에서 그 이유를 찾을 수 있지 않을까 합니다. 확인해 보세요. 참고로, plasma heating은 electron을 표면 반응은 ion을 활용합니다. 또한 각각의 열운동 특성이 다름으로 thermal velocity가 다르며, 이에 따라서 rf 시간동안 반응할 수 있는 거리를 추론해 볼 수가 있고, 이 기반으로 전극 gap 사이에서 플라즈마의 입자들이 얼마나 움직일 수 있는가를 따져 볼 수가 있겠습니다.