Langmuir Probe Langmuir probe tip 재료

2004.06.19 16:08

관리자 조회 수:20406 추천:273

Langmuir probe tip의 재료는 집속이온에 의한 이차 전자 방출계수가 낮은 물질이며 고전류 흐름시 용융되지 않는 용융점이 높은 성질을 갖는 물질을 선택합니다. 이런 조건을 맞추는 것으로 텅스텐(W), 몰리브데니움(Mo), 탄탈리움(Ta)등을 많이 사용하고 있습니다. 때로 플라즈마 밀도가 높은 경우에 사용되는 탐침 팁으로 흑연팁이 사용되기도 합니다. 용융점이 높은 이유이지요. 원칙적으로는 도체는 어떤 재료나 탐침의 재료로 사용할 수는 있으나 탐침으로부터 불순물이 나오는 문제에 깊은 고려를 해야할 것입니다. 또한 탐침 팁의 크기는 탐침 팀 근방에서 형성되는 쉬스의 크기에 비해 커야 측정이 편리하게 됩니다. 따라서 탐침 설계 및 해석에 있어서 이에 대한 고려를 해야 합니다.
더욱 자세한 내용은 다음 서적을 참고하시기 바랍니다.
Plasma Diagnostics 1 (edited by O. Auciello and D. Flamm : Academic Press 1989)
chapter 3 : How Langmuir Probes Work ?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] 76677
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20152
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57151
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68672
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92186
687 Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동 [1] file 543
686 Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. 543
685 Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] 546
684 Arcing 과 Self-DC Bias Voltage 상관 관계 [1] 549
683 전쉬스에 대한 간단한 질문 [1] 550
682 Frequnecy에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [1] 558
681 핵융합 질문 [1] 567
680 CCP RIE 플라즈마 밀도 [1] 571
679 활성이온 측정 방법 [1] 572
678 Plasma Reflect를 관리하는 방법이 있을까요? [1] 574
677 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [1] 575
676 OES를 통한 공정 개선 사례가 있는지 궁금합니다. [1] 582
675 Interlock 화면.mag overtemp의 의미 584
674 간단한 질문 몇개드립니다. [1] 587
673 수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다 [2] file 589
672 연속 Plasma시 예상되는 문제와 횟수를 제한할 경우의 판단 기준 [1] file 589
671 Co-relation between RF Forward power and Vpp [1] 592
670 RF Sputtering Target Issue [2] file 592
669 N2 GAS를 이용한 Plasma에 대한 질문 [1] 593
668 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] 596

Boards


XE Login