안녕하세요. 저는 유니스트에 재학중인 대학원생입니다.


이전에도 ICP CVD에 대해서 질문을 올렸었는데 그때 답변을 보고 문제점이 무엇인지 알수 있었습니다. 너무나 감사합니다.


그래서 이번에도 질문이 생겨 다시한번 찾아오게 되었습니다.


이번에 궁금한 점은 ICP CVD의 sample stage나 substrate에 magnetic property가 존재할 경우 plasma의 거동이 변하는지 변한다면 어떤식으로 변하게 될지 궁금하여 질문을 드립니다.


제가 찾아본 자료들을 보면 sample stage에 bias를 걸어서 deposition rate을 조절할수 있다는 자료들을 찾아 봤었습니다.


 그러다 문득 생각난게 magnetic field도 유사한 결과를 보여줄것 같은데 이렇게 생각해도 되는지 궁금합니다.


혹시 관련된 서적이나 논문 자료등 추천해주실 만한 자료가 있으시면 염치 불구하고 부탁드리겠습니다.


감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [298] 77520
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20599
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57537
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69042
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 93188
714 ISD OES파형 관련하여 질문드립니다. [1] 484
713 CCP 설비 Capacitance 및 Impedance 변화에 따른 Vpp 변동성 문의 [2] 484
712 스퍼터링 Dep. 두께 감소 관련 문의사항 [1] 486
711 안녕하세요 CLEAN GAS 관련 질문이 있습니다. [1] 487
710 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] 488
709 (PAP)plasma absorption probe관련 질문 [1] 495
708 Edge ring의 역할 및 원리 질문 [1] 506
707 plasma striation 관련 문의 [1] file 510
706 산소 플라즈마에 대한 질문입니다... 515
705 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] 515
704 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 [1] 517
703 해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안 [1] file 525
702 안녕하세요, RPS나 DEPOSITION간에 발생하는 ELECTRON TEMPERATURE가 궁금합니다. [1] 527
701 Plasma에 의한 분해 및 치환 반응(질문) [1] 529
700 AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 530
699 수중방전에 대해 질문있습니다. [1] 536
698 안녕하세요. 자문을 구할 수 있을지 궁금합니다. [1] file 555
697 Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] 558
696 self bias [1] 558
695 전쉬스에 대한 간단한 질문 [1] 561

Boards


XE Login