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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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MFP와 Sheath 관련하여 추가 질문 드립니다. [Collisional sheath 정의]
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전자 온도 구하기 [쉬스 전압, 스퍼터링 효과]
[1]  | 1623 |
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접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다. [플라즈마 소스 변경]
[1] | 1639 |
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플라즈마에서 가속 전압 또는 RF 파워 관련 질문드려요 [RF power와 power factor]
[1] | 1646 |
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잔류시간 Residence Time에 대해 [표면 유속 정보, 유체해석 코드]
[1] | 1660 |
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강의를 들을 수 없는건가요? [플라즈마 진단 심포지움 및 PSES-net]
[2] | 1671 |
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O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [Global model]
[1] | 1703 |
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low pressure영역에서 아킹이 더 쉽게 발생하는 이유에 관해 문의드립니다. [파센 커브와 글로우 방전]
[1] | 1723 |
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플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다. [플라즈마 토치에서의 Rotational temperature]
[1] | 1731 |
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CVD 막질의 성질에 대해 질문드립니다. [챔버 벽면 성질 및 가스 손실]
[1] | 1759 |
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RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유 [RF Power와 reflection]
[1] | 1795 |
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O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [Physical sputtering과 cleaning]
[1] | 1818 |
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데포 중 RF VDC DROP 현상 [부유 전극의 self bias 형성]
[1] | 1836 |
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Plasma Cleaning 관련 문의 [Remote plasma source]
[1] | 1864 |
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플라즈마 관련 교육 [플라즈마 교육자료]
[1] | 1925 |
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다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련 [Radio-Frequency Plasma]
[1] | 1958 |
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glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다. [고전압 방전 및 DBD]
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공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 답변 정말 감사합니다!
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CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다. [Plasma chemistry]
[3] | 2086 |
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RF 전압과 압력의 영향? [DC glow 방전, Paschen's Law]
[1] | 2260 |
