ATM Plasma DBD플라즈마와 플라즈마 impedance

2004.06.21 15:14

관리자 조회 수:19962 추천:300

DBD플라즈마와 플라즈마 impedance

질문이 두가지 입니다.
DBD플라즈마와 플라즈마 impedance
(1) DBD플라즈마 : 현재 저희 실험실에서는 주파수 별로 실험을 하고 있습니다. microwave를 이용하는것은 그 일부이고 microwave를
이용한 breakdown은 제가 보기에는 DBD에서의 플라즈마발생과 다른 것 같습니다. microwave에서는 field에 의한 breakdown이 주된
플라즈마 발생인 것 같으며 dielectric에 하전된 전하의 역할에 대해서는 잘 알지 못하고 있습니다. 계속 공부를 해야 할 사항입니다.
아울러 저희 실험실에서는 충돌성이 높은 플라즈마에서 탐침에 의한 자료를 얻어보려고 하고 있습니다. 이 또한 연구 결과가 나오는
대로 발표할 예정입니다.


(2) 플라즈마 impedance는 특히 pulse discharge에서는 dynamic 하게 바뀌기 때문에 매우 문제가 심각합니다. 따라서 시간에 따른
impedance변화에 대한 연구가 활발하게 진행되고 있기도 합니다.
질문에서 말하고 있는 plasma impedance의 개념이 일반적인 개념과 차이가 있어보입니다. RF plasma발생에서 50 ohm impedance는
플라즈마의 것이 아닌 power supply의 impedance (real part)를 의미합니다. 즉 power supply의 impedance를 기준으로 matching
network가 형성되는 것입니다. 따라서 외부 impedance의 총량에는 matching system의 impedence, power line의 impedence(예로서
coaxial cable은 33pF/ft의 C를 갖습니다.)와 발생플라즈마의 impedance가 포함되며 이값들을 power supply의 50ohm에 맞추도록
matching network가 작동하게 됩니다. 물론 플라즈마의 온도와 밀도등이 바뀜에 따라서 플라즈마의 impedance가 바뀌게 되므로
matching network에서는 C나 L을 조절해서 보정해 나가게 됩니다. 간단하게 플라즈마의 impedance를 검사하는 방법으로는 Langmuir
probe에서 얻어진 I-V trace에서 I-V의 기울기의 역수에서 만들어진 plasma의 impedance를 예측할 수 있습니다
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [88] 2552
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 13501
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 49688
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 61622
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 80215
560 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] 525
559 ICP 후 변색 질문 531
558 Vacuum Chamber(Etching) 내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계. [2] 531
557 코로나 전류에 따른 발생되는 이온의 수와, 하전에 영향을 미치는 요소에 대해서 질문드립니다 [1] 532
556 Tungsten 표면 Contamination 제거(실명재등록) [1] 535
555 RF matcher와 particle 관계 [2] 536
554 Collisional mean free path 문의... [1] 541
553 RF 주파수와 공정 Chamber 크기의 상관관계 [1] 541
552 Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [1] 546
551 플라즈마 챔버 [2] 546
550 Wafer Warpage에 따른 CCP Type Chamber 내부 Impedance [1] 546
549 OES 분석 관련해서 질문드립니다. [1] 561
548 매칭시 Shunt와 Series 값 [1] 563
547 Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성 [1] 563
546 DBD Plasma Actuator 원리에 대한 질문입니다. [1] 575
545 RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해 보고 싶습니다. [1] 577
544 플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서) [1] 589
543 LF Power에의한 Ion Bombardment [1] 600
542 ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요?? [1] 601
541 플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다. [2] 606

Boards


XE Login