ATM Plasma DBD플라즈마와 플라즈마 impedance

2004.06.21 15:14

관리자 조회 수:20202 추천:300

DBD플라즈마와 플라즈마 impedance

질문이 두가지 입니다.
DBD플라즈마와 플라즈마 impedance
(1) DBD플라즈마 : 현재 저희 실험실에서는 주파수 별로 실험을 하고 있습니다. microwave를 이용하는것은 그 일부이고 microwave를
이용한 breakdown은 제가 보기에는 DBD에서의 플라즈마발생과 다른 것 같습니다. microwave에서는 field에 의한 breakdown이 주된
플라즈마 발생인 것 같으며 dielectric에 하전된 전하의 역할에 대해서는 잘 알지 못하고 있습니다. 계속 공부를 해야 할 사항입니다.
아울러 저희 실험실에서는 충돌성이 높은 플라즈마에서 탐침에 의한 자료를 얻어보려고 하고 있습니다. 이 또한 연구 결과가 나오는
대로 발표할 예정입니다.


(2) 플라즈마 impedance는 특히 pulse discharge에서는 dynamic 하게 바뀌기 때문에 매우 문제가 심각합니다. 따라서 시간에 따른
impedance변화에 대한 연구가 활발하게 진행되고 있기도 합니다.
질문에서 말하고 있는 plasma impedance의 개념이 일반적인 개념과 차이가 있어보입니다. RF plasma발생에서 50 ohm impedance는
플라즈마의 것이 아닌 power supply의 impedance (real part)를 의미합니다. 즉 power supply의 impedance를 기준으로 matching
network가 형성되는 것입니다. 따라서 외부 impedance의 총량에는 matching system의 impedence, power line의 impedence(예로서
coaxial cable은 33pF/ft의 C를 갖습니다.)와 발생플라즈마의 impedance가 포함되며 이값들을 power supply의 50ohm에 맞추도록
matching network가 작동하게 됩니다. 물론 플라즈마의 온도와 밀도등이 바뀜에 따라서 플라즈마의 impedance가 바뀌게 되므로
matching network에서는 C나 L을 조절해서 보정해 나가게 됩니다. 간단하게 플라즈마의 impedance를 검사하는 방법으로는 Langmuir
probe에서 얻어진 I-V trace에서 I-V의 기울기의 역수에서 만들어진 plasma의 impedance를 예측할 수 있습니다
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76539
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20076
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57115
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68613
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91695
683 전쉬스에 대한 간단한 질문 [1] 543
682 Plasma Reflect를 관리하는 방법이 있을까요? [1] 550
681 Frequnecy에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [1] 555
680 핵융합 질문 [1] 561
679 CCP RIE 플라즈마 밀도 [1] 566
678 간단한 질문 몇개드립니다. [1] 567
677 활성이온 측정 방법 [1] 570
676 RF Sputtering Target Issue [2] file 570
675 plasma 공정 중 색변화 [1] 571
674 OES를 통한 공정 개선 사례가 있는지 궁금합니다. [1] 572
673 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [1] 574
672 N2 GAS를 이용한 Plasma에 대한 질문 [1] 577
671 Interlock 화면.mag overtemp의 의미 578
670 수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다 [2] file 581
669 Co-relation between RF Forward power and Vpp [1] 585
668 플라즈마를 알기 위해선 어떤 과목을 공부해야 할까요? [1] 587
667 연속 Plasma시 예상되는 문제와 횟수를 제한할 경우의 판단 기준 [1] file 588
666 기판표면 번개모양 불량발생 [1] 590
665 OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [1] 592
664 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] 594

Boards


XE Login