Langmuir Probe 대기압플라즈마 진단
2004.06.21 15:52
질문 ::
대기압 플라즈마에서 lanmuir probe로 분석할 수 있는지 궁금합니다.
온도가 높아서 탐침이 탄다고 하던데 해결할 수 있는지 궁금합니다.
답변 부탁드리겠습니다
답변 ::
탐침을 이용한 대기압 진단은 한마디로 말해서 매우 어렵습니다
다음과 같은 문제가 해결되어야 합니다.
1. 충돌성이 매우 높은 플라즈마의 특성이 대기압 플라즈마의 특징중에 하나입니다.
따라서 충돌성이 매우 높은 플라즈마에서의 쉬스 형성에 관한 문제의
해결 (쉬스 경계에서의 이온의 속도 정의)
2. 쉬스 안에서 이온화가 일어나는 정도에 따라서 탐침에 들어오는
전류량이 바뀌게 됩니다. 이 값에 대한 보정
3. 탐침이 입사되는 전류에 의해서 고온으로 될때 탐침에서 방출되는
열전자의 효과 보정 (많은 경우 이 값이 이온 전류로 오인되어 무리한
해석을 하고 있는 경우가 많습니다).
등등..
위의 문제들의 일부는 해결이 되고 있기도 합니다만 아직까지 이 모든
문제를 해결했다고는 보이지 않습니다. 하지만 옳지 못한 자료라 하더라도 탐침에 의한 자료 취득을 시도할 필요는 있습니다. 사용을 주저하지는 않기를 바랍니다.
댓글 0
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] | 76726 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20179 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57166 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68697 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92275 |
689 | Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. | 543 |
688 | Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동 [1] | 544 |
687 | Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] | 546 |
686 | Remote plasma source의 주파수 400kHz 이유 [1] | 548 |
685 | PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [2] | 549 |
684 | 전쉬스에 대한 간단한 질문 [1] | 550 |
683 | Frequnecy에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [1] | 558 |
682 | Arcing 과 Self-DC Bias Voltage 상관 관계 [1] | 560 |
681 | 핵융합 질문 [1] | 567 |
680 | 활성이온 측정 방법 [1] | 572 |
679 | CCP RIE 플라즈마 밀도 [1] | 575 |
678 | 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [1] | 576 |
677 | Plasma Reflect를 관리하는 방법이 있을까요? [1] | 579 |
676 | Interlock 화면.mag overtemp의 의미 | 585 |
675 | OES를 통한 공정 개선 사례가 있는지 궁금합니다. [1] | 586 |
674 | 간단한 질문 몇개드립니다. [1] | 587 |
673 | 수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다 [2] | 589 |
672 | 연속 Plasma시 예상되는 문제와 횟수를 제한할 경우의 판단 기준 [1] | 592 |
671 | Co-relation between RF Forward power and Vpp [1] | 593 |
670 | RF Sputtering Target Issue [2] | 595 |