Others analog tuner관련해서 질문드립니다.
2017.03.07 16:14
안녕하세요 반도체 장비회사에서 인턴으로 일하고있습니다.
pecvd장비를 이용해 ACL(amorphous carbon layer)을 올리는데 박막 stress를 줄여보고자 analog tuner를 chamber side와 bottom에 달았습니다.
여기서 궁금한 것은 analog tuner가 어떤 원리로 쓰여지는건지 궁금합니다.
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저희는 잘 모르는 jargon 입니다. Tuner가 power 혹은 impedance를 맞추기 위한 추가 tunning knob을 의미하는지는 모르겠습니다, 다만 장치가 제공하는 공정 중에 plasma 상태에 따른 피막의 스트레스 성분에 대한 자료가 있어야 이를 사용할 수 있을 것이라는 생각이 듧니다. 자료가 충분히 제공이 되지 않았다면, 박막 재료 하시는 분과 먼저 논의하기를 추천합니다. 저희는 박막의 특성을 잘 모르며, 박막 플라즈마를 다룬 경험이 많지 않습니다만, 박막 플라즈마를 하는 연구실에서는 알 수도 있는 일입니다. 다만 관련 플라즈마 정보를 얻기가 쉽지 않으므로, tunning의 원리를 찾기에는 연구가 필요할 것으로 예상합니다.