안녕하십니까 얼마전부터 DBD Plasma Actuator에 대해서 대해 공부하고 있는 정원석이라고 합니다. 다름이 아니라 저에게 DBD Plasma Actuator의 원리에 대한 여러 이론들을 조사해오라고 교수님께서 시키셨는데요, 아무리 논문을 공부해봐도 발생원리가 여러가지일 것이라는 생각이 들지 않습니다. 대부분 발생원리에 대해서 적어 놓은 내용은 제가 보기에 다르다기 보다는 같다고 밖에 느껴지질 않네요. 거의 대부분의 논문에서 원리에 대해서는 그저 몇 줄정도만 적어두었기에 자료도 부족한 상황입니다. 현재까지 그 원리에 대해서는 확실하게 밝혀지지 않았다고 하는데 과연 그 가설들이 어떻게 되는지 몇 가지정도 알고 싶습니다.    

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [88] 2934
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 14145
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 50062
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 62377
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 80764
560 ICP 후 변색 질문 542
559 코로나 전류에 따른 발생되는 이온의 수와, 하전에 영향을 미치는 요소에 대해서 질문드립니다 [1] 545
558 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] 549
557 Vacuum Chamber(Etching) 내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계. [2] 549
556 Collisional mean free path 문의... [1] 553
555 플라즈마 챔버 [2] 563
554 Wafer Warpage에 따른 CCP Type Chamber 내부 Impedance [1] 564
553 Tungsten 표면 Contamination 제거(실명재등록) [1] 572
552 Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성 [1] 574
551 RF 주파수와 공정 Chamber 크기의 상관관계 [1] 575
550 OES 분석 관련해서 질문드립니다. [1] 584
549 Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [1] 588
548 RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해 보고 싶습니다. [1] 590
» DBD Plasma Actuator 원리에 대한 질문입니다. [1] 592
546 RF matcher와 particle 관계 [2] 593
545 플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서) [1] 597
544 매칭시 Shunt와 Series 값 [1] 603
543 플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다. [2] 619
542 플라즈마 충격파 질문 [1] 624
541 LF Power에의한 Ion Bombardment [1] 624

Boards


XE Login