OES OES 원리에 대해 궁금합니다!

2018.05.31 19:08

이혜지 조회 수:21878

안녕하세요 한양대학교에서 공부하고 있는 학생입니다

이번에 플라즈마 수업을 듣는데 플라즈마를 검진하는 방법중에 하나인 OES에 대해서 조사를 해보고 있는데

생각보다 자료가 많이 나오지 않아서 어려움을 겪고 있습니다

플라즈마 검진법중 하나인 OES에 대해서 조금 자세하게 설명 해주실수 있을까요??

부탁드립니다!

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [88] 2928
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 14133
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 50059
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 62373
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 80763
560 ICP 후 변색 질문 542
559 코로나 전류에 따른 발생되는 이온의 수와, 하전에 영향을 미치는 요소에 대해서 질문드립니다 [1] 545
558 Vacuum Chamber(Etching) 내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계. [2] 548
557 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] 549
556 Collisional mean free path 문의... [1] 553
555 플라즈마 챔버 [2] 562
554 Wafer Warpage에 따른 CCP Type Chamber 내부 Impedance [1] 564
553 RF 주파수와 공정 Chamber 크기의 상관관계 [1] 569
552 Tungsten 표면 Contamination 제거(실명재등록) [1] 571
551 Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성 [1] 574
550 OES 분석 관련해서 질문드립니다. [1] 584
549 Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [1] 585
548 RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해 보고 싶습니다. [1] 590
547 RF matcher와 particle 관계 [2] 591
546 DBD Plasma Actuator 원리에 대한 질문입니다. [1] 592
545 플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서) [1] 597
544 매칭시 Shunt와 Series 값 [1] 602
543 플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다. [2] 619
542 LF Power에의한 Ion Bombardment [1] 622
541 플라즈마 충격파 질문 [1] 624

Boards


XE Login