Etch O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의

2020.10.28 15:20

nons 조회 수:522

안녕하십니까

반도체 소재 회사에 다니고 있는 노은수 입니다.

궁금한게 있어서 문의 드립니다.

 

O2 etch 후 gas의 접촉면과 닿은 polymer에서 아래의 그림과 같이 손톱모양으로 변성(?)이 되는 현상이 있는데 왜 이러한 현상이 발생 하는지 알고 싶습니다. 

 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [62] 1549
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 2406
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 49517
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 59724
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 75735
543 플라즈마 진단에서 rogowski 코일 관련 질문 드립니다. [1] 460
542 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] 461
541 [Etching 공정 중 wafer를 고정하기 위해 사용되는 Ring관련] [3] 466
540 Wafer Warpage에 따른 CCP Type Chamber 내부 Impedance [1] 477
539 RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. [1] 481
538 LF Power에의한 Ion Bombardment [1] 487
537 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [1] 488
536 PECVD와 RIE의 경계에 대해 [1] 494
535 ICP 후 변색 질문 496
534 Collisional mean free path 문의... [1] 508
533 코로나 전류에 따른 발생되는 이온의 수와, 하전에 영향을 미치는 요소에 대해서 질문드립니다 [1] 512
532 플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서) [1] 514
531 CVD 공정에서의 self bias [1] 517
» O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의 file 522
529 DBD Plasma Actuator 원리에 대한 질문입니다. [1] 531
528 RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해 보고 싶습니다. [1] 533
527 플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다. [2] 542
526 RIE에서 O2역할이 궁금합니다 [4] 548
525 부가적인 스퍼터링 관련 질문 드립니다. [1] 550
524 Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다. [1] 551

Boards


XE Login