Others 잔류시간 Residence Time에 대해
2021.06.08 10:34
안녕하세요 박사님. 플라즈마 장비를 다루는 반도체 장비 회사에 다니는 연구원입니다.
항상 좋은 글 잘 보고 있습니다.
다름이 아니라 저희가 현재 유입하는 Gas의 유량을 조절하여 이것이 공정에 어떤 영향을 끼치는지 분석하고 있습니다.
저희가 펌프의 Valve를 고정해놓고 실험을 했기 때문에 유입시키는 Gas 양을 줄이면서 자연스럽게 Pressure 또한 줄어 들었는데,
이 때 Gas의 Residence Time 이 어떻게 변하는지 궁금합니다.
같은 양의 Gas라고 하더라도 Residence time에 따라 공정 결과 값이 바뀔 것 같은데
이 Residence time은 어떻게 구할 수 있을까요?
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] | 76726 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20172 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57166 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68696 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92274 |
| 689 | Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. | 543 |
| 688 |
Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동
[1]  | 544 |
| 687 | Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] | 546 |
| 686 | Remote plasma source의 주파수 400kHz 이유 [1] | 547 |
| 685 | PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [2] | 547 |
| 684 | 전쉬스에 대한 간단한 질문 [1] | 550 |
| 683 | Frequnecy에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [1] | 558 |
| 682 | Arcing 과 Self-DC Bias Voltage 상관 관계 [1] | 559 |
| 681 | 핵융합 질문 [1] | 567 |
| 680 | 활성이온 측정 방법 [1] | 572 |
| 679 | CCP RIE 플라즈마 밀도 [1] | 575 |
| 678 | 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [1] | 576 |
| 677 | Plasma Reflect를 관리하는 방법이 있을까요? [1] | 579 |
| 676 | Interlock 화면.mag overtemp의 의미 | 585 |
| 675 | OES를 통한 공정 개선 사례가 있는지 궁금합니다. [1] | 586 |
| 674 | 간단한 질문 몇개드립니다. [1] | 587 |
| 673 |
수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다
[2] | 589 |
| 672 |
연속 Plasma시 예상되는 문제와 횟수를 제한할 경우의 판단 기준
[1] | 592 |
| 671 | Co-relation between RF Forward power and Vpp [1] | 593 |
| 670 |
RF Sputtering Target Issue
[2] | 595 |
다음 식으로 어름잡아 보시기 바랍니다. 반응기 (chamber) 내에서의 입자들 체류시간 (혹은 잔류시간 residence time)은 반응기 부피를 펌프의 배기속도 (liter/time) 로 나누어 구할 수 있습니다. 이는 입자가 반응기 전체에 균일하게 분포되어 있을 경우로서, 시료 표면에 잔류하고 있는 시간과는 차이가 있을 수 있을 것 같습니다. 따라서 표면에서 유속에 대한 정보가 얻어지면 공정 분포를 이해하는데 보다 도움이 될 수 있겠습니다. (유체해석 코드를 이용해 보시기 바랍니다)