Matcher Plasma Arching
2022.09.13 19:17
안녕하십니까!
경기도 모 소재대학에 신소재공학과 재학중인 학생인데
신소재공학과는 전자기학을 배우지 않아서 어려움을 겪고있습니다.
1. 아킹 현상에 대해 공부중인데 임피던스 매칭? 이런 개념들이 너무 어렵고 플라즈마에 대해 이해도를 높이기 위해 전자기학 책 (원서도 좋습니다) 추천해주실만한 서적있으신가요?
답변주시면 감사하겠습니다.
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] | 76539 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20076 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57115 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68613 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 91695 |
683 | 전쉬스에 대한 간단한 질문 [1] | 543 |
682 | Plasma Reflect를 관리하는 방법이 있을까요? [1] | 550 |
681 | Frequnecy에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [1] | 555 |
680 | 핵융합 질문 [1] | 561 |
679 | CCP RIE 플라즈마 밀도 [1] | 566 |
678 | 간단한 질문 몇개드립니다. [1] | 567 |
677 | 활성이온 측정 방법 [1] | 570 |
676 | RF Sputtering Target Issue [2] | 571 |
675 | plasma 공정 중 색변화 [1] | 571 |
674 | OES를 통한 공정 개선 사례가 있는지 궁금합니다. [1] | 572 |
673 | 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [1] | 574 |
672 | N2 GAS를 이용한 Plasma에 대한 질문 [1] | 577 |
671 | Interlock 화면.mag overtemp의 의미 | 578 |
670 | 수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다 [2] | 581 |
669 | Co-relation between RF Forward power and Vpp [1] | 585 |
668 | 플라즈마를 알기 위해선 어떤 과목을 공부해야 할까요? [1] | 587 |
667 | 연속 Plasma시 예상되는 문제와 횟수를 제한할 경우의 판단 기준 [1] | 588 |
666 | 기판표면 번개모양 불량발생 [1] | 590 |
665 | OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [1] | 592 |
664 | 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] | 594 |
재료적 관점에서 플라즈마를 전기적 물성을 가진 재료로 생각해 보세요. 이 개념은 플라즈마의 dielectric property를 이해하는 것으로 시작하는데, 특히 lossy 한 재료가 가지는 RF 반응을 이해하면 좋습니다. 따라서 plasma dielectric property 에서 rf 주파수의 역할, plasma frequency, 및 기본적인 collision frequency 가 dielectric property를 어떻게 바꾸는가에 대해서 생각을 정리해 보세요. 이를 이해하기에 좋은 교재는 물리2 이고 Maxwell 방정식으로 부터 plasma dielectric frequency를 유도할 수 있으면, 플라즈마 공부하시는데 크게 지장은 없습니다. 참, 입자의 거동이니 하전입자의 운동 방정식과 연속 방정식은 늘 함께 다니는 식입니다. 이는 물리 1에서도 다루고 있습니다.
전자기학 책에 너무 연연하지 마시고 일반 물리에서 배운 지식을 잘 활용해 보시면 좀 더 수월하게 접근하실 수 있는 분야가 플라즈마 분야라 생각합니다.