Plasma in general RF tune position 과 Vrms의 관계가 궁금합니다

2018.12.30 00:05

시쿠임 조회 수:965

안녕하세요. 반도체 회사에서 근무하고 있는 엔지니어 입니다.

최근 설비이슈로 rf tune position 상승의 문제가 있는데 load는 변동이 없는데 유독 tune position만 상승합니다. 이때 Vrms는 tune과 반비례로 하강하는 trend를 보이는데, 


1. tune과 Vrms 의 상관관계가 어떻게 되나요?

2. 유독 tune이 상승하는 원인을 어디서부터 찾아야 할까요?


바쁘신 와중에 항상 도움을 주셔서 감사합니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] 76650
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20148
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57148
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68669
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92126
667 plasma 공정 중 색변화 [1] 597
666 OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [1] 600
665 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [1] 601
664 기판표면 번개모양 불량발생 [1] 604
663 진공수준에 따른 RF plasma 영향 관련 질문 [1] file 607
662 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] 607
661 챔버 시즈닝에 대한 플라즈마의 영향성 [1] 611
660 플라즈마 기본 사양 문의 [1] 614
659 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] 623
658 플라즈마를 알기 위해선 어떤 과목을 공부해야 할까요? [1] 625
657 RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] 632
656 Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [1] file 634
655 Polymer Temp Etch [1] 649
654 analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] 655
653 RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] 661
652 [재질문]에칭에 필요한 플라즈마 가스 [1] 667
651 반도체 METAL ETCH 시 CH4 GAS의 역할. [1] 668
650 주파수 증가시 플라즈마 밀도 증가 [1] 670
649 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [1] 678
648 플라즈마 진단 공부중 질문 [1] 683
쓰기
태그

Boards

XE Login