Sheath Sheath와 Darkspace에 대한 질문입니다.
2012.10.16 12:52
반도체업종에서 종사하고있고 얕으나 RF를 이용한 Plasma에 대해 공부를 하는 사람입니다.
질문은 플라즈마 반응용기내에서 발생되는 플라즈마는 빛을 발생시키는데 쉬스영역은 하전입자 밀도가 낮기 때문에
발광현상이 없다고 알고있습니다. 또 쉬스는 부도체, Floating된 물체 표면에 플라즈마를 감싸는 형태로 존재한다고
알고있습니다. 그렇다면 플라즈마 반응용기는 Bulk 플라즈마를 제외하고 모든 영역이 쉬스로 감싸져있다고
생각하면 틀린건가요?
또 만약 쉬스가 반응용기내에서 Bulk 플라즈마를 감싸고 있는 형태라면 반응용기를 관찰하기 위한 Glass view port또한
감싸져 있을텐데 view port에서는 Bulk 플라즈마에서 발생되는 빛이 보입니다. 이건 어떻게 이해해야 될까요?
이해하기 쉽게 설명좀 부탁드립니다. 감사합니다.^^
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플라즈마의 대부분의 빛은 전자 충돌에 의해서 여기된 원자 혹은 분자 및 이온들이 기저상태로 돌아오면서 방출하게 되는 원자 반응 현상으로 대략 3-4eV 정도의 에너지를 가진 빛은 가시광선으로 눈에 보이게 됩니다. 하지만 다양한 여기 에너지가 존재하고, 그 에너지는 원자 종에 따라 틀려서 분광신호로 부터 가스 종을 역으로 추적하기도 하여 OES를 이용한 EPD가 그 활용 예입니다. 상대적으로 여기 반응이 많이 일어 날 수 있는 곳은 전자가 많은 bulk 영역이 되겠으며 따라서 view port를 통해서 보이는 빛은 대부분 bulk 영역에서 발생한 빛을 보고 있는 것이라 할 수 있고, 한편 인가 전력을 바꾸면서 빛의 세기를 관찰해 보거나. bias power르 바꾸면서 빛의 세기의 변화를 관찰해 봄으로써 빛 발생의 위치를 확인해 볼 수 있을 것입니다.