안녕하세요. 전남대학교 정세훈이라고 합니다.
몇가지 궁금한점이 있어 질문드립니다

a)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 500 eV.

b)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 5000 eV

Cu원자의 에너지값이 어떻게되나요? 여러논문을 검색해보았는데
thompson distribution E/(E+Eb) 에 대해서는 나오는데.. 계산이 잘 안돼서요..
--------------------
위의 질문에 대한 참고 자료를 군산대학교 주정훈교수님께서 올려 주셨습니다. 그림과 같이 Kr 입자 조사에 의한 스퍼터링된 Cu의 에너지 및 이탈 속도 함수를 보여주고 있습니다. Ar과 조사 입자의 질량 차이가 있을 뿐 이를 고려한다면 거의 현상은 유사할 것으로 판단됩니다. 이 자료는 교재에 있다고 하니 참고하시기 바랍니다. 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76539
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20076
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57115
» kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68613
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91695
643 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 [1] 686
642 플라즈마 절단시 C와 N의 결합가능성 [2] 689
641 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] 692
640 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] 698
639 플라즈마 진단 OES 관련 질문 [1] 701
638 CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] 702
637 ICP 대기압 플라즈마 분석 [1] 705
636 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [1] 708
635 안녕하세요. Plasma etch rate에 관하여 질문이 있습니다. [1] 718
634 ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다 [1] file 719
633 ICP 후 변색 질문 722
632 Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [1] 725
631 O2 플라즈마 사용에 대한 질문을 드립니다. 725
630 OES를 이용한 Gas Species 정량적 분석 방법 [1] 728
629 교수님 질문이 있습니다. [1] 732
628 Hollow Cathode glow Discharge 실험 관련해서 여쭤보고싶습니다. [1] file 734
627 RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의 [1] 743
626 안녕하세요 OLED 증착 시 궁금한점이있어 문의드립니다 [2] 745
625 Self bias 내용 질문입니다. [1] 745
624 코로나 전류에 따른 발생되는 이온의 수와, 하전에 영향을 미치는 요소에 대해서 질문드립니다 [1] 757

Boards


XE Login