Collision Three body collision process

2004.07.02 11:22

권호철 조회 수:20634 추천:253

================================<질문>=======================================

glow discharge에 대해서 공부하다보니까
recombination부분에서
2-body collision은 불가능하다고 수식을 사용해서 증명이 되었는데 현실적으로 왜 불가능 한지 알고 싶고요
3-body collision의 자세한 설명이 듣고 싶어요.
아직 논문을 찾아보지는 못했지만 몇몇 개의 논문 제목들 중에 있긴 하던데 어떤 특정 원소에 대한 거라든지 어떤 특정 환경을 잡아놓고 쓴듯(아직 읽어보지 않아서 잘은 모르겠습니다)어렵기만 합니다.저는 갓 학부를 졸업한 학생입니다.
자세한 설명 부탁드립니다.

만일 설명이 곤란하다면 관련 서적이라든지 어떠한 레퍼런스에 대한 정보를 알려주신다면 상당히 감사하겠습니다.

================================<답변>=======================================
좋은 질문입니다.
참고서적으로는 아마 지금 읽고 있는
Brian Chapman의 Glow Discharge Process (John Wiley& Sons, 1980)이 좋으며
혹은 M A Lieberman & A J Lichenberg의 Princeples of Plasma Discharge and Materials Processing (John Wiley& Sons 1994)
가 있습니다. 플라즈마를 공부한다고 하면 이 정도의 책은 꼭 보아야
합니다.

이책속에 질문한 사항에 대해서 자세히 나와 있습니다.
결합반응은 일반적인 충돌 현상과 차이가 있다면 두개의 입자가 서로
에너지를 갖고 충돌을 해서 하나의 결합체가 되는 반응이어서
충돌할때 입자가 갖고 오는 에너지가 반응 후에 보존되기 힘듦니다.
일반적으로는 갖고온 에너지를 상대 입자에게 전달해 주거나 받으면
보존되는데 문제가 없겠지만 결합이 된 상태이니 남거나 모자라는
에너지를 보충할 방법이 없습니다. 이같은 경우가 일어나기 위해서는
다른 제3 의 입자가 존재해서 남는 에너지에 대해서 보정을 해
주어야 합니다. 이는 반응기 벽이 되기 쉽고 혹은 압력이 높은 경우는
다른 입자가 대신하기도 하며 또한 photon으로 나오기도 합니다.
어쨋든 이 같은 조건이 형성되어야만 위의 반응이 일어나게 됩니다.
(책의 수식은 이런 내용을 의미하는 것입니다) 따라서 플라즈마 공간 내에서 이온과 전자가 쉽게 재결합을 하지는 않게
됩니다.
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76540
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20076
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57115
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68613
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91695
643 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 [1] 687
642 플라즈마 절단시 C와 N의 결합가능성 [2] 689
641 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] 692
640 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] 698
639 플라즈마 진단 OES 관련 질문 [1] 701
638 CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] 702
637 ICP 대기압 플라즈마 분석 [1] 706
636 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [1] 708
635 안녕하세요. Plasma etch rate에 관하여 질문이 있습니다. [1] 718
634 ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다 [1] file 720
633 ICP 후 변색 질문 722
632 Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [1] 725
631 O2 플라즈마 사용에 대한 질문을 드립니다. 725
630 OES를 이용한 Gas Species 정량적 분석 방법 [1] 730
629 교수님 질문이 있습니다. [1] 732
628 Hollow Cathode glow Discharge 실험 관련해서 여쭤보고싶습니다. [1] file 735
627 RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의 [1] 743
626 안녕하세요 OLED 증착 시 궁금한점이있어 문의드립니다 [2] 746
625 Self bias 내용 질문입니다. [1] 746
624 코로나 전류에 따른 발생되는 이온의 수와, 하전에 영향을 미치는 요소에 대해서 질문드립니다 [1] 757

Boards


XE Login