안녕하세요. 전남대학교 정세훈이라고 합니다.
몇가지 궁금한점이 있어 질문드립니다

a)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 500 eV.

b)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 5000 eV

Cu원자의 에너지값이 어떻게되나요? 여러논문을 검색해보았는데
thompson distribution E/(E+Eb) 에 대해서는 나오는데.. 계산이 잘 안돼서요..
--------------------
위의 질문에 대한 참고 자료를 군산대학교 주정훈교수님께서 올려 주셨습니다. 그림과 같이 Kr 입자 조사에 의한 스퍼터링된 Cu의 에너지 및 이탈 속도 함수를 보여주고 있습니다. Ar과 조사 입자의 질량 차이가 있을 뿐 이를 고려한다면 거의 현상은 유사할 것으로 판단됩니다. 이 자료는 교재에 있다고 하니 참고하시기 바랍니다. 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] 76683
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20152
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57156
» kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68676
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92193
647 RF 주파수에 따른 차이점 [1] 692
646 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다 [1] 693
645 플라즈마 절단시 C와 N의 결합가능성 [2] 694
644 정전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] 697
643 CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] 702
642 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] 706
641 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] 706
640 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [1] 709
639 ICP 대기압 플라즈마 분석 [1] 712
638 플라즈마 진단 OES 관련 질문 [1] 712
637 RF Frequency 가변과 FORWARD POWER의 상관관계 [2] 718
636 ICP 후 변색 질문 723
635 안녕하세요. Plasma etch rate에 관하여 질문이 있습니다. [1] 723
634 Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [1] 734
633 O2 플라즈마 사용에 대한 질문을 드립니다. 734
632 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 [1] 735
631 교수님 질문이 있습니다. [1] 740
630 안녕하세요 OLED 증착 시 궁금한점이있어 문의드립니다 [2] 751
629 RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의 [1] 753
628 OES를 이용한 Gas Species 정량적 분석 방법 [1] 753

Boards


XE Login