안녕하세요. 전남대학교 정세훈이라고 합니다.
몇가지 궁금한점이 있어 질문드립니다

a)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 500 eV.

b)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 5000 eV

Cu원자의 에너지값이 어떻게되나요? 여러논문을 검색해보았는데
thompson distribution E/(E+Eb) 에 대해서는 나오는데.. 계산이 잘 안돼서요..
--------------------
위의 질문에 대한 참고 자료를 군산대학교 주정훈교수님께서 올려 주셨습니다. 그림과 같이 Kr 입자 조사에 의한 스퍼터링된 Cu의 에너지 및 이탈 속도 함수를 보여주고 있습니다. Ar과 조사 입자의 질량 차이가 있을 뿐 이를 고려한다면 거의 현상은 유사할 것으로 판단됩니다. 이 자료는 교재에 있다고 하니 참고하시기 바랍니다. 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [85] 2317
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 12799
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 49615
» kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 61099
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 79282
519 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [1] 652
518 O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] 656
517 PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [1] 658
516 진학으로 고민이 있습니다. [2] 666
515 Plasma etch관련 질문이 드립니다. [1] 672
514 대학원 진학 질문 있습니다. [2] 673
513 Matcher의 효율에 대한 내용에 대해서 궁금합니다. [1] 674
512 상압플라즈마 제품 원리 질문드립니다 [2] 677
511 [Etching 공정 중 wafer를 고정하기 위해 사용되는 Ring관련] [3] 682
510 glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다. [2] 687
509 CVD 공정에서의 self bias [1] 687
508 Plasma Generator 관련해서요. [1] 688
507 langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다. [1] file 695
506 공정플라즈마 [1] 700
505 안녕하세요 텅스텐 에치에 대해 질문드리겠습니다. 706
504 고진공 만드는방법. [1] 721
503 [질문] Plasma 장비에 대한 Monitoring 질문 [2] 724
502 RF Generator 주파주에 따른 Mathcer Vrms 변화. [1] 725
501 DC Plasma 전자 방출 메커니즘 734
500 ICP, CCP 그리고 Ion Implantation 공정 관련 질문 드립니다. [1] 747

Boards


XE Login