Others O2 Plasma 에칭 실험이요

2019.01.30 14:20

Elin0503 조회 수:957

안녕하세요. 회사에 다니고 있는 직장인입니다.


이번에 저희 회사 연구실에서 O2 Plasma를 이용하여 Carbon Film을 날리는 실험을 계획중에 있습니다.


그런데 Carbon Film이 Depo된 Wafer를 구하기가 쉽지가 않습니다..


혹시 Carbon 시편을 구할 수 있는 곳이라던가 연락처아시면 


공유가 가능할까 싶어 너무나 간절한 마음에 여기에 이렇게 질문글을 작성합니다..


도움 부탁드리겠습니다..

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] 76726
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20182
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57167
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68698
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92276
649 반도체 METAL ETCH 시 CH4 GAS의 역할. [1] 680
648 플라즈마 진단 공부중 질문 [1] 687
647 플라즈마 절단시 C와 N의 결합가능성 [2] 694
646 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다 [1] 696
645 RF 주파수에 따른 차이점 [1] 700
644 정전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] 701
643 CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] 705
642 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] 707
641 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [1] 709
640 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] 711
639 ICP 대기압 플라즈마 분석 [1] 714
638 플라즈마 진단 OES 관련 질문 [1] 715
637 ICP 후 변색 질문 725
636 안녕하세요. Plasma etch rate에 관하여 질문이 있습니다. [1] 726
635 Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [1] 736
634 O2 플라즈마 사용에 대한 질문을 드립니다. 737
633 RF Frequency 가변과 FORWARD POWER의 상관관계 [2] 740
632 교수님 질문이 있습니다. [1] 745
631 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 [1] 749
630 안녕하세요 OLED 증착 시 궁금한점이있어 문의드립니다 [2] 755

Boards


XE Login