Remote Plasma 리모트 플라스마 소스 AK 부품 수출 관련 질문 입니다 반도체 장비 부풉ㅁ
2019.06.25 10:26
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RPS(Remote plasma source) 에 들어가는 알미늄 부품 중기가
수출하고자 하는데요.
이제품이 반도체 CVD CHAMBER MAKER에 들어가는 부품이라고 합니다
CHAMBER 내부 구조도를 간략히 개념도로 알려 주실수 있나요?
-챔버 내에 어느부위에 몇개가 들어 가는지요?
- RPS 가 CVD 챔버에서 어떤 기능을 하는지요?
- 세계적 선도 RPS 기업은 어디 인지요?
-플라스마 여러 소스중 RPS 의 비중은 어느정도나 되나요? 채용시 장점은 ?
evision21 드림
trade consultanta
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