안녕하십니까 현재, 증착관련 기업에서 인턴을 하고있는 김윤재 학생입니다.

Depostion에 관심이 많아서, 교수님의 질문방을 보며 공부(?)를 간혹하는 학생입니다.

 

현재, SiO2박막을 증착하며, 엘립소미터를 이용하여 굴절률과 증착두께를 측정하고 있습니다

그런데, Data를 측정하면  굴절률이 1.30/1.35/1.40/1.45 이런식으로 다양하게 나옵니다. 당연히, 증착두께도 굴절률에 따라 다르게 나옵니다.

SiO2의 굴절률이 1.46으로 알고있는데 굴절률이 다양하게 측정이 된다면, 여러 요인에 의해서 SiO2박막이 제대로 증착이 안된거 같습니다.

 

그런데, 이런 경우라면  Data를 기록할때 어떻게 기록해야하는 궁금합니다.

각 굴절률과  그에 따른 박막두께를 다 기록해야하는지.... 혹은 굴절률과 측정두께의 평균을 구해야 하는지 궁금합니다.... 

유의미한 data를 측정하고 싶은데 지식이 없는 학부생 질문이라 죄송합니다....

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [219] 75415
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19148
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 56477
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 67542
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 89320
608 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] 729
607 RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [1] 731
606 DBD Plasma Actuator 원리에 대한 질문입니다. [1] 732
605 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] 736
604 반도체 관련 플라즈마 실험 [1] 745
603 새집 증후군 없애는 플러스미 - 플라즈마에 대해서 [1] 746
602 전자밀도 크기에 대하여 질문드립니다. (Ar, O2, N2 가스) [1] 746
601 플라즈마 세정 장비 (CCP구조)에서 자재 로딩 수에 따른 플라즈마 효과 및 Discolor [1] file 747
600 안녕하세요 플라즈마의 원초적인 개념에서 궁금한 점이 생겨서 질문드립니다. [1] 749
599 플라즈마 충격파 질문 [1] 759
598 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] 771
597 Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다. [1] 773
596 RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해 보고 싶습니다. [1] 774
595 O2 Asher o-ring 문의드립니다. [1] 774
594 CCP Plasma 해석 관련 문의 [1] file 777
593 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [1] 779
592 anode sheath 질문드립니다. [1] 781
591 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [1] 785
590 CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응 [1] 798
589 RF MATCHING 관련 교재 추천 부탁드립니다 [1] 801

Boards


XE Login