안녕하세요 반도체 장비회사에서 인턴으로 일하고있습니다.

 

pecvd장비를 이용해 ACL(amorphous carbon layer)을 올리는데 박막 stress를 줄여보고자 analog tuner를 chamber side bottom에 달았습니다.

 

여기서 궁금한 것은 analog tuner가 어떤 원리로 쓰여지는건지 궁금합니다.

 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [311] 79121
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 21222
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 58029
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69587
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 94336
662 Arcing과 Self-DC Bias Voltage 상관 관계 [Self bias와 DC glow 방전] [1] 748
661 N2 GAS를 이용한 Plasma에 대한 질문 [질소 플라즈마] [1] 749
660 Plasma Reflect를 관리하는 방법이 있을까요? [임피던스 매칭] [1] 756
659 Plasma 표면 개질에 대해 질문드립니다. [O2 플라즈마와 Ar 플라즈마] [1] 761
658 PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [RF 전원과 matcher] [2] 765
657 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다. [플라즈마 소스 변경] [1] 767
656 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [전극 설계 및 방전기 운전 모드 개발] [1] 772
655 ICP 후 변색 질문 782
654 CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [핵융합 연구소 자료] [1] 784
653 ICP 대기압 플라즈마 분석 [Collisional plasma, LTE 모델] [1] 787
652 플라즈마 진단 공부중 질문 [Balance equation] [1] 787
651 RF magentron sputtering시 플라즈마 off 현상 [Sputter 문제] [1] 790
650 플라즈마를 알기 위해선 어떤 과목을 공부해야 할까요? [Glow discharge process 이해] [1] 798
649 remote plasma를 이용한 SiO2 ethching 질문드립니다. [식각률 self limit과 쉬스 에너지 변화] [1] 801
648 O2 플라즈마 사용에 대한 질문을 드립니다. 806
647 plasma 공정 중 색변화 [플라즈마 진단과 분광학] [1] 808
646 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] 809
645 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [플라즈마 표면 반응] [1] 812
» analog tuner관련해서 질문드립니다. [박막 플라즈마 및 tunning 원리] [1] 814
643 안녕하세요. Plasma etch rate에 관하여 질문이 있습니다. [단위 Chamber의 PM 이력] [1] 814

Boards


XE Login