Others 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [전극 설계 및 방전기 운전 모드 개발]

2018.08.29 17:36

전군 조회 수:774

안녕하세요. (코로나 방전을 이용한) 전기집진을 공부하고있는 학생입니다.

최근 실험 중, 코로나 전류가 -10uA에서 시간이 지날수록 하락하는 현상이 나타났습니다.

충분히 시간이 경과하니 -0.2uA 수준까지 하락을 하였습니다.

수초 간 전원을 OFF 후 ON 시키면 1/3수준까지는 회복이 됩니다

또는 전원을 OFF 후 방전이 일어나는 브러쉬 부분을 건드려준 후, 다시 ON을 시키면 원래 값까지 회복이됩니다.

위 현상이 나타나는 이유 또는 참고할만한 내용이 있으면 부탁드려도 될까요??

홈페이지 통하여 플라즈마 관련 많이 배우고 있습니다.

감사합니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [313] 79258
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 21270
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 58072
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69626
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 94423
664 [재질문]에칭에 필요한 플라즈마 가스 [플라즈마 식각기술] [1] 752
663 PECVD Uniformity [플라즈마 균일도 제어] [1] 752
662 N2 GAS를 이용한 Plasma에 대한 질문 [질소 플라즈마] [1] 756
661 Arcing과 Self-DC Bias Voltage 상관 관계 [Self bias와 DC glow 방전] [1] 758
660 Plasma Reflect를 관리하는 방법이 있을까요? [임피던스 매칭] [1] 766
659 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다. [플라즈마 소스 변경] [1] 771
» 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [전극 설계 및 방전기 운전 모드 개발] [1] 774
657 Plasma 표면 개질에 대해 질문드립니다. [O2 플라즈마와 Ar 플라즈마] [1] 780
656 ICP 후 변색 질문 785
655 PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [RF 전원과 matcher] [2] 786
654 플라즈마 진단 공부중 질문 [Balance equation] [1] 790
653 CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [핵융합 연구소 자료] [1] 792
652 RF magentron sputtering시 플라즈마 off 현상 [Sputter 문제] [1] 794
651 ICP 대기압 플라즈마 분석 [Collisional plasma, LTE 모델] [1] 795
650 remote plasma를 이용한 SiO2 ethching 질문드립니다. [식각률 self limit과 쉬스 에너지 변화] [1] 809
649 플라즈마를 알기 위해선 어떤 과목을 공부해야 할까요? [Glow discharge process 이해] [1] 809
648 O2 플라즈마 사용에 대한 질문을 드립니다. 810
647 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] 812
646 plasma 공정 중 색변화 [플라즈마 진단과 분광학] [1] 814
645 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [플라즈마 표면 반응] [1] 821
쓰기
태그

Boards

XE Login