Ion/Electron Temperature 전자 온도에 대한 질문이 있습니다.
2021.08.12 16:29
안녕하세요. 경희대학교에서 플라즈마에 대한 학부연구를 진행하고 있는 박준우라고 합니다.
플라즈마의 전자 온도에 대한 간단한 질문이 있어 QNA 드립니다.
플라즈마 내의 전자가 물질(substrate)과 충돌했을 때, 맞은 substrate의 전자도 온도가 올라가는 것으로 알고 있습니다.
이 때 일반적으로 진공에 떠돌아 다니는 전자의 온도와, substrate의 전자 온도의 정의를 똑같이 할 수가 없다고 하는데, 정확히 어떻게 정의가 달라지는지 궁금하여 질문 드립니다.
감사합니다.
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [234] | 75753 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 19439 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 56665 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68000 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 90228 |
| 597 | RF MATCHING 관련 교재 추천 부탁드립니다 [1] | 816 |
| 596 | O2 Asher o-ring 문의드립니다. [1] | 819 |
| 595 | 문의 드립니다. [1] | 830 |
| 594 | PECVD Cleaning에서 Ar Gas의 역활 [1] | 836 |
| 593 |
CCP Plasma 해석 관련 문의
[1]  | 837 |
| 592 | CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응 [1] | 845 |
| 591 | 전자밀도 크기에 대하여 질문드립니다. (Ar, O2, N2 가스) [1] | 846 |
| 590 | anode sheath 질문드립니다. [1] | 861 |
| 589 | Ashing 공정에 필요한 O2 plasma에 대해 궁금한 점이 있습니다. [1] | 868 |
| 588 | 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [1] | 871 |
| 587 | 3-body recombination 관련 문의드립니다. [2] | 872 |
| 586 | 반도체 관련 플라즈마 실험 [1] | 874 |
| 585 | Plasma Generator 관련해서요. [1] | 886 |
| 584 | etch defect 관련 질문드립니다 [1] | 892 |
| 583 | RF tune position 과 Vrms의 관계가 궁금합니다 [1] | 903 |
| 582 | Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다. [1] | 908 |
| 581 | Plasma Arching [1] | 911 |
| 580 | Tungsten 표면 Contamination 제거(실명재등록) [1] | 912 |
| 579 | 플라즈마 기초에 관하여 질문드립니다. [1] | 913 |
| 578 | O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] | 915 |
플라즈마 공부를 시작하셨군요. 환영합니다. 본 질문은 온도에 대한 개념으로 매우 중요한 질문입니다. 답을 드리기 전에, 이미 입문 과정에서 형광등 내에는 플라즈마가 형성되어 있음을 알고 있을 겁니다. 찾아 보시면, 플라즈마의 온도는 높은데 반해서 형광등을 만지면 그리 뜨겁지 않습니다. 그 이유를 찾아 보시면 큰 공부가 될 겁니다. (요즘 형광등을 찾기가 힘들 수도 있겠는데, light flower bulb, 혹은 밖에 기온과 벽의 온도차의 이유도 비슷한 경우라 할 수 있겠습니다. Hint: 밀도차이기 매우 크고, 입자가 가진 에너지를 온도로 표현합니다.-관련 설명은 게시판의 내용을 참고하시면 좋습니다.)